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机器人的控制性能对于机器人的生产效率以及操作精度有重要意义，机器人的轨迹规划和轨迹跟踪是机器人控制性能的两个重要方面。本文......
自上世纪四十年代，贝尔实验室的肖特莱等人制造了人类第一个晶体管。半个世纪以来，半导体产业蓬勃发展，预计到2030年，将会成为世界第一......
集成电路(IC)是电子信息产业的核心,应用于IC的IC制造装备是半导体产业发展的支柱,在整个半导体产业的发展中扮演着重要的角色。而......
文章设计一种300mm硅片真空传输系统,满足市场对硅片传输过程高精度,高洁净度,高效率的需求。其中硅片传输腔室采用真空设计,并优......
机械手替代人工完成硅片传输可以大幅提高生产效率,传输精度和降低碎片率,机械手的使用是现代电子装备自动化的重要标志。介绍了适......
分析了硅片预对准设备的工作原理、流程及计算方法,并在实验数据的基础上详细讨论了各种方法的优缺点。......
随着信息化程度的不断加深,高速度高精度硅片传输机器人已经成为集成电路制造装备的核心组成部分。本文研究的三自由度支链嵌套并......
集成电路是电子信息产业的重要基础,IC制造装备作为其技术先导,是信息产业发展的支柱。据统计,硅外延片销量占全球整体硅片市场的......
集群式IC装备硅片传输控制系统是高度复杂的离散事件动态系统，复杂逻辑调度是控制系统设计的核心问题。硅片传输设备的个体行为逻辑......
为了解决硅片厚度在0.1 mm以下时,激光传感器扫描检测容易发生硅片漏扫的问题,提出一种基于OpenCV的硅片层级分布定位检测方法,利......
随着摩尔定律的持续,光刻机设备的研发复杂度呈指数倍增长,然而电子设备的推陈出新频率的提升却要求光刻机研发周期缩短。光刻机作......
高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一。首先介绍了预对准单元的设计及实现：预对准机构包括旋转台、......
