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掩模传输系统是光刻机的重要组成分系统，主要承担掩模版的存贮、传输、定位和交换等工作，能够避免人与掩模版直接接触而对掩模版造成......
本文对微流控芯片的自动对准机理与自动对准系统的关键技术问题进行了研究,并以自行研制的一台PMMA微流控芯片自动对准台为例,从理......
研究硅通孔即TSV(through-silicon vias)键合硅片的预对准边缘信息采集与处理方法;TSV硅片与标准硅片相比,有减薄、键合不同心、边......
研制了一种与掩膜光刻机相配套的新型掩膜管理控制系统。系统硬件由1个4自由度机械手、2个版库、粗预对准机构、精细预对准机构、P......
分析了硅片预对准设备的工作原理、流程及计算方法,并在实验数据的基础上详细讨论了各种方法的优缺点。......
提出了一种硅片传输系统的预对准算法，根据线阵CCD采集的边缘电压数据并结合机械手的固有特性，计算出圆心坐标和切边位置，实现硅片的......
介绍了适应大直径探针台的晶圆自动传输系统及其主要的组成部分——一片盒承载台、关节机械手、预对准装置。应用动力学分析证明R-......
根据步进投影光刻机的基本原理及其基本结构,分析了影响投影光刻工艺的主要因素。根据多年对设备的维修经验,总结了ASML步进投影光......
介绍并分析了全自动划片机物料传输系统的精度控制及工艺流程，通过分析研究可以进一步提高整个全自动设备的能效和设计性，进而更好的......
随着摩尔定律的持续,光刻机设备的研发复杂度呈指数倍增长,然而电子设备的推陈出新频率的提升却要求光刻机研发周期缩短。光刻机作......
高精度高效率的预对准系统是现代集成电路(IC)生产中实现晶圆自动传输的重要部件。介绍了预对准台的大致设计结构,分析了目前常见......
光刻机是大规模集成电路生产中的关键设备,光刻过程中能否快速、精确地对准是光刻机主要性能之一。随着集成电路集成度的提高,光刻......
高精度的预对准是设计现代光刻机硅片传输系统需要解决的核心问题之一。首先介绍了预对准单元的设计及实现：预对准机构包括旋转台、......
