高频磁控溅射相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

高频磁控溅射相关论文

反应溅射TiO_2薄膜

报道了反应溅射沉积ＴｉＯ２薄膜，得到ＴｉＯ２薄膜的特性如沉积速率、透射率、导电性能、吸收系数等与反应气体的流量、溅射功率有关。通过控制氧气......

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反应溅射薄膜技术 TiO_2薄膜溅射沉积溅射功率沉积速率透射率反应气体不完全氧化高频磁控溅射

高频磁控溅射低温度系数铬硅薄膜电阻

采用高频磁控溅射研制出的Cr-Si薄膜,方阻为500Ω/□～5kΩ/□,TCR小于50×10~(-6)/℃,并在生产中得到应用。 The Cr-Si film devel......

期刊

高频磁控溅射薄膜电阻低温度系数电阻温度系数基片温度方阻真空蒸发靶材副室电阻材料

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