微光刻技术相关论文
介绍光刻技术分类及工作原理，国际国内光刻设备研究动态，国际国内差距，分析存在问题；讨论光刻设备涉及的关键技术：紫外和深紫外投影......
本文介绍一种激光直写技术制作的防伪标识及其制作方法。该防伪标识采用计算机绘图，采用微光刻技术中的光刻掩模制作技术制作母版，再......
该论文对微光刻领域中一些常用图形的生成方法和图形处理技术以及数据文件格式转换技术进行了研究并开发出一套实用化很强的图形处......
首先介绍了微纳制造的关键工艺技术——光刻技术。回顾了光刻技术的发展历程,介绍了各阶段主流光刻技术的基本原理和特点。阐述了......
介绍了一种不用掩模的光刻技术--激光干涉光刻技术的基本原理,给出了干涉光刻技术的主要特点及一些可能的应用,并对实验系统和初步......
介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,包括:(1)光学曝光系统与电子束曝光系统的匹配技术;(2)投影光刻和J......
在不久前召开的SPIE Microlithography（国际光学工程学会微光刻技术年度会议）上，BACUS（国际光掩膜技术学会）组织了一次圆桌会议，来自光刻......
新一代平板显示（CRT）器件——薄型CRT已被研制出来，这种新技术显示了用于从更高效笔记本电脑与便携式显示器到台式监示器及电视的潜力......
图像传感器在已建立的相当大的市场基础上，销售额不断攀升，迎来了属于自己的销售旺期（见图1）。图像传感器市场发展如此之快，主要源于由......
为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式上的转换软件,提出了一种新的将微光刻图形CIF数据格式转换为PG3......
阐述了光刻技术的发展及其分辨极限，对准分子激光光刻技术及其发展作了比较详细的论述。......
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