脉冲溅射相关论文
本文阐述了交流溅射技术的原理、特点及其应用。
This article describes the principle, characteristics and applications of ......
采用脉冲磁控反应溅射工艺进行氧化铝薄膜的沉积实验 ,对该工艺过程中溅射电压和沉积速率与氧流量的“迟滞回线”现象进行了研究。......
随着"信息时代"的到来,各种新型平板显示器件受到人们的青睐.玻璃是各种平板显示器件中最普遍使用的基本结构材料,但玻璃中的碱金......
采用直流反应溅射技术可以制备出具有光催化作用的TiO2薄膜。这种TiO2薄膜经紫外光辐照后,可以分解有机物以及降低水和TiO2薄膜表......
1引言氧化钒作为催化剂(V2O5)被广泛应用于化学领域,近年来随着它的一些奇异物理特性的发现以及薄膜材料制备技术的发展,它在许多......
本文阐述了交流溅射技术的原理，特点及其应用。...
二氧化钒薄膜是最有前途应用到非制冷红外微测热辐射计的材料，它的特性与制备方法、化学计量比、结构和取向等有直接关系，仔细控制工......
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采用脉冲磁控溅射法在不同氮气流量下制备出CrNx薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和电化学工作站......
采用脉冲磁控反应溅射工艺进行氧化铝薄膜的沉积实验，对该工艺过程中溅射电压和沉积速率与氧流量的“迟滞回线”现象进行了研究。通......
脉冲溅射是一种新型的、用于消除直流反应溅射中异常放电的技术.通过采用金属铝靶和自制的脉冲电源进行了氧化铝薄膜的脉冲磁控反......
论述了溅射沉积薄膜技术的发展历程及其目前的研究应用状况。二极溅射应用于薄膜制备,揭开了溅射沉积技术的序幕,磁控溅射促使溅射......
