4H—SiC相关论文
为了研究4H—SiC晶体在强激光辐照下电子特性及其变化,采用基于密度泛函微扰理论的第一性原理赝势的方法,对纤锌矿4H—SiC晶体在强......
对4H—SiC雪崩光电探测器的Ti/Al/AuP型欧姆接触进行了详细的研究。通过线性传输线模型(LTLM)测得经930℃退火后欧姆接触的最小比接触......
应用ATLAS模拟软件,设计了吸收层与倍增层分离的(SAM)4H-SiC雪崩光电探测器(APD)结构。分析了不同外延层厚度和掺杂浓度对器件光谱响应......
研究了一种新型4H—SiCU型槽栅金属氧化物半导体场效应晶体管(UMOSFE%)结构.该结构中的P—bodv区下方有-P型突出屏蔽区.在关态下,该P型突......
碳化硅(SiC)是一种具有优良物理性能的宽禁带半导体材料,可作为探测器的优良探测介质。用241Am源5.486MeV的α粒子研究4H—SiC肖特基二......
采用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XPS)测试方法对4H—SiC上热氧化生长的氧化硅(SiOx)薄膜表面形貌进行观测,......
利用光电流谱法研究了300K到60K温度范围内的P—i—n结构4H—SiC紫外光电探测器的暗电流及相对光谱响应特性。研究发现随着温度的......
借助ISETCAD,对4H—SiCMESFET进行二维数值模拟,研究分析了表面陷阱对直流和瞬态特性的影响。数值模拟表明,在直流特性上,由于表面陷阱......
提出了一种新型4H—SiC阳极凹槽D-RESURF肖特基二极管结构。阳极凹槽使器件反偏时横向电场增强,加快漂移区耗尽。同时,利用D-RESURF......
在76.2mm4H—SiC晶圆上采用厚外延技术和器件制作工艺研制的结势垒肖特基二极管(JBS)。在室温下,器件反向耐压达到2700V。正向开启电压......
文中基于多种理论模型构建了4H-SiC SAM APD结构紫外光电探测器的基本物理模型.模拟研究了包括反向伏安特性、离化率、光谱响应在......
优化双沟4H—SiCMESFET结构,通过求解一维和二维泊松方程,建立优化结构的解析模型,分析这种结构的直流和交流特性.结果表明,饱和电流密......
采用广义梯度近似的密度泛函理论方法计算了4H—SiC的本征态的电子结构以及4H—SiC材料N掺杂后的电子结构,计算结果表明:与本征态相......
基于4H—SiC的材料特性,对具有双外延基区结构的4H—SiC双极晶体管进行研究.通过分析该结构在基区内部形成的自建电场以及基区渡越时......
采用解析模型,对n型4H-SiC电子霍耳迁移率和霍耳散射因子进行了理论计算.结果表明:低温区,掺杂浓度较高时,中性杂质散射对电子霍耳......
通过对双凹栅结构和阶梯栅结构4H—SiCMESFET的直流特性对比,得出阶梯栅结构的直流特性优于双凹栅结构。对阶梯栅结构进行极限化处......
采用角依赖X射线光电子谱技术(ADXPS)对高温氧化SiO2/4H—SiC(0001)界面过渡区的组成、成分分布等进行了研究.通过控制1%浓度HF酸刻蚀氧化......
主要研究了铅离子辐照注碳4H—SiC样品在3个不同退火温度下傅立叶变换红外光谱的变化。从红外谱的变化可以知道铅辐照注碳4H-SiC样......
在极端环境中应用的SiC器件,稳定性会受到温度的严重影响,其主要原因与材料晶格动力学因素随温度的变化有关。为了研究SiC单晶材料晶......
半导体同位素电池由于其寿命长、集成性优良、环境适应性强等特点成为解决MEMS能源问题的理想手段。利用4H-SiC材料的宽禁带特性,制......
分析了表面陷阱对4H—SiC MESFET直流和瞬态特性的各种影响。在直流特性上,由表面陷阱引入的附加耗尽层使得饱和电流降低和夹断电压......
与硅相比,4H-SiC材料具有高功率、耐高温、高频、高集成度、高效率、高抗辐射等优势,是制作电力电子器件的理想材料,近十年以来SiC......
本工作用化学气相淀积方法在AlN/Si(100)复合衬底上生长SiC薄膜.外延生长过程中,采用C4H4和SiH4作为反应气源,H2作为载气.样品的X-......
利用台阶控制外延生长技术在偏晶向Si-面衬底上进行了4H-SiC的同质外延生长研究,衬底温度为1500℃,在厚度为32μm、载流子浓度为2~5......