ELLIPSOMETRY相关论文
Optical simulation of external quantum efficiency spectra of Culn1-xGaxSe2 solar cells from spectros
Applications of in-situ and ex-situ spectroscopic ellipsometry (SE) are presented for the development of parametric expr......
Determination of Thickness and Optical Constants for Nickel Ultra-thin Films Using Ellipsometry Iter
Accurate determination of thickness and optical constants for ultra-thin absorbing film is significant in the field of s......
Thickness Determination of Nanoscale SiO2/Si Thin Film Thickness Reference Materials by Grazing Inci
The grazing incidence X-ray reflectivity (GIXRR) is a kind of non-destructive inspection technology and absolute measure......
Investigation of optical and material properties of Si/SiGe/Si heterostructures by using spectroscop
The use of silicon germanium (SiGe) as a semiconductor was championed by Bernie Meyerson,an IBM fellow since 1994.SiGe i......
会议
采用单波长反射式椭偏仪以及多次旋转样品的方法,实现了光轴平行于表面的各向异性晶体光学参数的测量。分析了单波长椭偏法测量各......
为提高消光椭偏测量技术的测量精度,提出了一种基于光弹调制的消光椭偏测量技术。将光弹调制器和两块λ/4波片组合构成旋光调制器,......
椭偏仪实现高精度测量的关键在于模型值的精准标定,而随机误差是影响标定精度的重要因素。从椭偏仪随机误差的产生原因入手,针对零......
在PQSA式消光型椭偏仪基础上,把原来方位固定的1/4波片改为旋转波片就可以构成与消光式兼容的新型光度椭偏仪。本文讨论了这种光度......
期刊
研究了利用椭偏技术进行极化聚合物电光系数测量的方法。基于简化模型推导了γ33的计算公式,讨论了这种方法的有效性。......
本文描述了在正向入射条件下,当待测的各向异性反射面(如全息光栅)的两个笛卡儿本征矢方向与系统的指向有微小偏离时,椭偏测量的消......
本文采用多变量的误差分析方法给出光学薄膜参数对于椭偏角ψ,反射率R,入射角和吸收薄膜厚度的误差因子公式。由此便可确定出光学......
在探索空间分束法消除椭偏测试中背反杂光干扰的过程中,发现该方案能够使光束在待测样品前表面聚焦,后表面发散,发散的背反光将无法进......
,Ellipsometric analysis and optical absorption characterization of gallium phosphide nanoparticulate
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本文通过对荣华二采区10...
Structural and optical properties of Cr doped ZnO crystalline thin films deposited by reactive elect
ZnO and Cr-doped ZnO thin films are grown on to glass substrates using reactive electron beam (e-beam) evaporation techn......
Structural and optical properties of Zn1-xNixTe thin films prepared by electron beam evaporation tec
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Glass Transition Behavior of Spin-coated Thin Films of a Hydrophilic Polymer on Supported Substrates
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7......
用溶胶凝胶法在Si(100)衬底上制备了(Pb,Ca)TiO3铁电薄膜样品,测量了其在2.3~5.0eV能量范围的椭偏光谱,并获得样品的膜厚和在该区间的光学常数谱.实验发现Pb离子被Ca离......
Optical Band Gap, Oxidation Polarizability, Optical Basicity and Electronegativity Measurements of S
<div style="text-align:justify;"> The values of refractive index (<i>n</i>) for silicate glasses (silica, soda lime and ......
用Blanie Johs方法使用三种不同的样品对旋转检偏器类型椭偏光谱仪(RAE)进行了系统校正.校正实验结果表明:对于设计建立的系统,在......
使用一种新型的溶胶.凝胶方法制备了ZnO薄膜,此方法的特点在于操作简单、无毒、实用。此方法可在非单晶基片(如玻璃、石英等)上制备最......
介绍了分振幅光度式偏振测量原理,并论述我们基于此种原理所建立的分光棱镜型分振幅光度式偏振测量系统的结构、定标和性能校验。文......
火棉胶醋酸戊脂溶液常被用于医学治疗,在分析材料内部结构时,利用火棉胶醋酸戊脂溶液成膜后表现出的致密性和透光性,将其作为待分......
相位调制SPR传感器较其他三种调制模式有更高的灵敏度,被广泛地应用于生化检测等领域。目前用于SPR相位检测的方法主要有外差干涉......
作者利用光学实验中的常规仪器完成了椭偏法测量薄膜的厚度与折射率,探讨了减小误差,提高测量精度的措施.文中还对文献[2]中某些易于......
应用层层自组装技术(LBL)构筑聚电解质多层膜的过程中,组装溶液的离子强度对组装过程有特殊影响.采用紫外分光光度计与椭偏仪同时监......
采用空心阴极放电离子镀(HCD)技术,在硅基片上沉积CrN薄膜.用X射线衍射技术(XRD)及透射电镜(TEM)分析了氮气分压对沉积的CrN薄膜结构的影响.用电子探针(EPMA)及......
应用空心阴极离子镀制备了CrN薄膜.用椭圆偏振测量术对CrN薄膜进行测量,用求极值的方法得到了它们的光学常数,并对不同含N2量的CrN薄膜光学......
论述了向列相液晶分子取向有序度的的评价方法以及与同物理张量之间的关系,阐述了椭圆光解析法分子取向有序度的原理,并应用在基板表......
结合激光外差干涉术和反射式椭偏测量技术,设计了一种抗干扰能力强,快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法.着重分析并计算......
为了分析透明均匀介质膜的椭偏方程中所隐含的椭偏参数和薄膜参数(膜厚、折射率)之间的误差关系,提出基于误差传递公式和反函数组定......
本文介绍了一种新型的0.5~2.0eV红外光自动椭偏谱仪.采用Boxcar积分平均仪来对红外探测器输出的信号进行平均处理.大大提高了信噪比......
介绍作者等由实验结果提出的建立研究电化学反应的椭圆偏振光谱新方法的设想,并在一系列实验中证实了实现最初设想的可能性。最近......
介绍了现有几种椭圆偏振光谱分析方法的现状,分别对其优缺点进行了评述。着重介绍了作者提出的V_(op) -λ谱图表示的方法,其优点是......
铝合金在硫酸溶液中进行阳极氧化,然后再在含铈盐的溶液中进行恒电流阴极极化,应用椭圆偏振技术对上述两过程进行现场追踪的结果表明......
Applying ellipsometry to studying the effect of two kinds of rare earth metal salts on anodizing alu
The effects of rare earth metal salts (REMs), cerium(Ⅳ) salt and lanthanum (Ⅲ) salt, on the property of anodized coati......
应用现场反射式椭圆偏振技术和循环伏安法研究氯离子以及苯并三氮唑对铜电极腐蚀性能的影响,探索铜电极的腐蚀及缓蚀机理,为铜材料在......
将椭圆偏振测量法(椭偏法)的电磁频谱从原来可见光、红外波段拓展到毫米波段,对毫米波椭偏法测量原理进行理论分析,使用已构建的实验装......
我们用溶胶凝胶法在Si(100)衬底上制备了(Pb,Ca)TiO3铁电薄膜,测量了其在2.0—5.0eV能量范围的样品的椭偏光谱,并获得在该区间的光学常......
用椭圆法通过测定表面膜层厚度,折射系数和表面复盖度研究了钼酸盐对碳钢在工业冷却水中的缓蚀作用。实验结果表明:形成具有良好保......
提出一种新的光栅测试方法--利用椭偏仪测量光栅的基本参数,同时将求解优化问题的正单纯形法用来反演光栅的椭偏方程.首先假设一种......
通过分析椭偏测量的复杂性可知椭偏角高精度测量的重要性,针对曾认为可提高测量精度的多角度测量法在不恰当地增加入射角时极易破......
依据椭圆偏振法测定透明薄膜的有关数据,运用C程序语言,通过迭代程序设计,由计算机同时计算出薄膜厚度和折射率。结果表明:薄膜折射率......
为解决椭偏法测量薄膜厚度和折射率实验数据处理较为复杂的问题,采用一种新的基于群体智能的优化算法一粒子群算法处理实验数据.以单......
为了实现光学材料参数高精度测量与初步检测材料快速进行.基于对椭偏法测量光学材料折射率的原理,对实验仪器的选取和实验过程进行......
采用荧光光谱成像并结合椭圆偏振技术研究了3-氨基3-乙氧基硅烷(APTES)修饰及其与戊二醛(APTES-Glu)共同修饰的两种不同表面上固定的羊......
讨论了三相椭偏方程对于解算膜厚大于一个周期的介质薄膜(厚膜)光学参数的原理和方法;给出了在WJZ型多功能激光椭偏仪上进行的测量......
椭圆偏振术是一种新兴的用于研究生物分子固相表面吸附以及吸附分子间相互作用的表面分析技术。其最大优点在于测量过程不破坏被测......