干法腐蚀相关论文
我们采用等离子束轰击的方法,研究了干法腐蚀对多晶CdTe薄膜结构和性能的变化,以及对CdTe太阳电池性能的影响。发现与湿法腐蚀方法......
介绍了对ＳｉＧｅ／Ｓｉ材料干法，湿计腐蚀的机理，腐蚀方法，影响腐蚀的主要因素，以及其在制造异１质结晶体管中的应用。......
介绍了用于固体激光器被动锁模自启动实现飞秒级脉冲输出的两种波长的带半导体可饱和吸收镜(800nm和1550 nm SESAMs)的研制方法和......
ＧａＮ短波长激光器是最近取得突破性进展而备受关注的光是这研究新域。本文简要论述了２０多年来在发展ＧａＮ发光器件过程中所克服的困难，介绍了目......
本文介绍一种新的干法腐蚀工艺——化学辅助离子束蚀刻(CAIBE),或者称作离子束辅助蚀刻(IBAE),它具有各向异性腐蚀,高的腐蚀选择比......
提供了一种考虑到微制造工艺实际的对微胶体推进器的起始电压进行估计的方法.本方法的关键在于把基于深度干法腐蚀的微推进器的两......
业已用氟化氩激光的紫外线辐射完成了单晶砷化镓的大面积腐蚀。该工艺以甲基或三氟甲基与溴基的光化学反应为基础。具有各向异性腐......
背面通孔是GaAs MMIC制造工艺中的一个重要步骤.通路孔在接地灵活性和减少接地电感方面比其它接地方法更具优越性[1].背面通孔的形......
在光栅的制作中有两种方法:其中一个是湿法,另外一个是干法。本文分别就湿法和干法的实验结果,进行比较。用于法刻蚀方法做出了比......
综合了 Ga As和 In P基 HFET工艺中的选择腐蚀技术的有关报道 ,重点介绍了应用 ICP设备和气体组合 BCl3+ SF6 进行异质结材料组合......
众所周知,采用传统的缩小器件尺寸的方法来提高晶体管性能越来越受到成本和技术的限制,从而限制了摩尔定律的进一步发展。绝缘衬底......
随着红外与太赫兹波研究工作的深入开展，红外与太赫兹波的应用范围在逐年扩大，衍射器件的研发已成为其中的一个重要研究方向，受到了广......
本文首先对脊型半导体激光器的发展和应用进行了综述,其次对脊型半导体激光器的发光原理、材料、结构进行了理论分析,进而对脊型半......
