应变系数相关论文
Ko位移理论能够很精准地对结构进行变形重构,为了将这一理论应用到实际工程中,选用光频域反射(OFDR)分布式光纤传感器作为测量工具......
传感器技术与通信、计算机并称为现代信息产业的三大支柱,是衡量一个国家智能化、数字化的重要标志。随着检测精度的不断提高和服......
学位
布里渊光时域分析技术(BOTDA)具有抗干扰、防腐蚀、精度高、能实现连续性测量等优点.在工程应用中,其涉及的主要技术问题之一为确......
石墨烯具有单个原子厚度、高电迁移率和高杨氏模量等优异的机械与电学性能,是应用于纳机电系统(NEMS)的理想材料。近年来,基于石墨......
结合工作实际,阐述了用DBSL-3t拉压力传感器作为测量标准,测量8000N·m应变式扭矩传感器应变系数的方法,并就其测量结果不确定度进......
重掺杂多晶硅纳米薄膜具有良好的压阻温度特性,用它制作高温压阻式传感器灵敏度高、成本低,具有广阔的应用前景.为优化多晶硅纳米......
重掺杂多晶硅纳米薄膜具有较大的应变系数和良好的温度特性,是制作力学量传感器的理想压阻材料.为优化多晶硅纳米薄膜的压阻特性,就淀......
对磁控溅射和低压化学气相淀积(LPCVD)2种方法制备的多晶硅薄膜的电学和压阻特性进行了研究,并讨论了结晶化工艺对磁控溅射薄膜性质的......
利用LPCVD制备重掺杂多晶硅薄膜,在0-560℃温度范围内对薄膜的压阻效应进行研究,同时对多晶硅薄膜应变系数随温度的变化,以及薄膜的淀......
为解决PALIO后桥国产化过程中寿命达不到要求的问题,采用电测法测得了进口件和几种工艺条件下的国产件PALIO后桥在扭转台架疲劳试......
本论文通过直流脉冲磁控溅射法将无择优和(100)择优的ITO薄膜沉积在石英片及Si(100)晶片表面,同时,将无择优和(100)择优的ITO薄膜......
<正> 一、前言扩散型压力传感器已有不少报导。本文介绍的多晶硅薄膜压力传感器则具有许多不同点。例如,感知变形的为多晶硅薄膜、......
利用低压化学气相沉积(LPCVD)技术制备了不同掺杂浓度的多晶硅纳米薄膜,并对样品的压阻特性进行了测试.采用最小二乘法对实验数据进行......
通过对厚膜电阻导电相、玻璃相的粒径控制、粒径比搭配以及在导电相、玻璃相中掺杂,研制成一种厚膜力敏电阻浆料,其应变系数GF可达15......
采用脉冲激光沉积法(PLD)制备磷掺杂多晶硅薄膜,研究磷掺杂分数对多晶硅薄膜压阻性能的影响。结果表明,随着磷掺杂分数增大,多晶硅......
为有效利用多晶硅纳米薄膜研制MEMS压阻器件,本文对LPCVD多晶硅纳米薄膜应变系数与掺硼浓度的关系进行了研究,并利用扫描电镜和X射......
多晶硅薄膜在一些半导体器件及集成电路中得到了广泛的应用。由于多晶硅生产成本低,效率稳定性好、光电转换效率高,多晶硅薄膜的研......
超薄多晶硅薄膜具有优异的压敏特性。铝诱导层交换(ALILE)制备多晶硅薄膜具有成膜温度低薄膜性能优良等特点。利用ALILE方法在玻璃......
前言微机电系统(microelectro—mechanical systems,Mems)是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电......
针对基于布里渊散射原理的分布式传感光纤的标定问题,本文研发了一套分布式传感光纤标定系统。利用BOTDR测量仪器,可以标定分布式传......
科学技术的快速发展,使得多晶硅薄膜的制作工艺得到了完善优化,并且,多晶硅薄膜也已经得到了广泛的应用。本文介绍了结合现有工艺......