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采用热丝法,甲醇、丙酮及氢气等离子体在硅衬底上沉积出金刚石薄膜,用透射电镜(TEM)及拉曼(Raman)谱分析膜中含有大小不等的金刚石颗粒,膜的厚度为......
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本文介绍了金刚石薄膜独特、优异的性能和低压化学汽相沉积(CVD)金刚石薄膜的研究进展情况,并且就金刚石薄膜在红外末制导系统中的应用进......
本文采用热解化学气相沉积方法,以甲烷和氢的混合气体为原料,在单晶硅和锗、 铜、钼、石英玻璃、碳化钨和石墨基板上合成金刚石薄膜,......
本文以有机低分子化合物和氢气为反应气体,用热解 CVD 法生长出金刚石多晶薄膜。用喇曼散射、X 射线衍射、反射高能电子衍射和电子......
低压气相合成金刚石薄膜,具有广泛的应用前景。本研究采用热解 CVD 法生长金刚石薄膜,反应气体为含 C、H、O 的有机低分子化合物......
本文采用研磨、超声波和化学方法处理单晶硅基片,观察了缺陷形成的形态,进行低压法合成金刚石多晶薄膜的实验研究,初步讨论了缺陷......
本文研究了热解CVD法合成金刚石多晶的结晶习性,在结晶过程中金刚石的(111)、(100)和(110)三个晶面经过激烈竞争后均有显露,通常情......