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飞秒激光微加工技术具有加工精度高、热效应小、损伤阈值低以及能够实现真正的三维微结构加工等优点,这些特性是传统的激光加工技......
当高强度短/超短脉冲激光聚焦于靶材表面或介质内部时,若其峰值功率密度超过某一阈值,靶材表面或介质内部会形成等离子体,等离子体......
利用多功能微细加工平台的微细电火花加工技术为微细电解加工在线制作微细电极,在低浓度钝化电解液、低加工电压和高频窄脉冲电流......
低密度多孔泡沫材料在高能密度物理、辐射运输、绝热成型研究中有重要应用,但该材料多孔易碎,加工难度大.在尖刃金刚石外圆刀具和......
为了研究飞秒激光对不锈钢材料的加工工艺，采用基于飞秒激光材料烧蚀的微细加工方法，深入研究了飞秒激光高效高质量微细加工不锈钢材......
极板结构直接影响微型直接甲醇燃料电池的极化特性，采用微机械加工技术制作几种不同极板流场结构的直接甲醇燃料电池．通过对不同极板......
提出了一种面向微加工的虚拟光刻系统Litho3D。该系统采用傅立叶光学成像模型、光刻胶曝光及显影模型，实现了投影式光学光刻的三维......
本文提出了脉冲约束刻蚀电化学微加工方法,从半无限和有限扩散脉冲约束刻蚀两个模型出发,从理论上探讨了它的可行性.......
具有不同孔径尺寸和孔隙率的多孔硅在不同的MEMS中可作为功能结构层和牺牲层.简要介绍了多孔硅的结构和制备方法;与体微机械和表面......
采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜,结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.探讨了PZT薄膜微驱动......
针对传统微机械＂固—固＂型触点开关存在触点磨损、接触不稳定、导通电阻大、抗干扰能力差等缺点,设计制作了一种利用水银液滴在变矩......
进行了单颗磨粒高速磨削45钢、20Cr钢和典型难磨材料钛合金TC4和GH4169高温合金的试验.试验结果表明,对于45钢和20Cr钢,高速条件下......
微磨料气射流加工工艺在加工制作脆性材料微构件、微机电系统(MEMS)微器件以及脆性材料的平面图案、微细孔槽结构时具有高效率、低......
介绍了一种采用准分子激光进行微细加工微锥体技术的新方法,并利用该方法在有机玻璃上制作质谱分离芯片电喷尖的实验.该方法借鉴了......
设计了一种基于微机械加工技术的风速风向传感器,传感器由四个相互正交的电容器构成,每个电容器包括可动极板和固定极板,此结构将......
采用超高真空气相淀积系统(UHVCVD)制备了多晶锗硅薄膜(poly-Si0.7Ge0.3).研究了它的退火特性和电阻温度特性.将多晶锗硅薄膜电阻......
为解决电火花方法加工微三维结构时工具电极的制备、测量和损耗补偿问题,研究了块反拷法和线电极磨削法(WEDG)相配合的电极加工工......
进行了基于光刻技术的高频群脉冲微细电化学薄片加工(ECLM)试验研究.对于微细薄片型金属工件而言,在高频(20 kHz)、群脉冲形式的电......
微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域,成本和可靠性是MEMS商品化的关键.与传统的机械加工和IC加工相比,MEMS加工的尺寸偏......
本文列举了传感器在人的生理信息的监视，伤员救助病人医疗方面的应用概况和发展前景．...
微通道板作为电子倍增器件可以对电子、离子、紫外和软X射线进行探测和成像。传统微通道板制备是采用玻璃纤维拉制和氢还原等技术，......
针对碳化硅材料在较高切削压力的微切削条件下具有脆塑性转变机制，利用专用切削仿真软件AdvantedgeV5．6，对金刚石刀具微切削碳化硅陶......
将CAD/CAM技术和电化学加工技术两者有机结合起来,研究金属零件或模具表面微细花纹、图案、文字(或商标)的三维电化学展成微细加工......
目的建立微流控芯片的CO2激光直接微加工方法。方法构建激光加工装置，设置激光微加工程序，并对激光加工过程中一些影响因素进行分析，......
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在纳米级材料去除率和极小载荷下,利用原子力显微镜(AFM)对单晶硅进行基于金刚石针尖的微加工,并且应用扫描电子显微镜(SEM)对微加......
金刚石具有极高的硬度、导热率及优异的化学稳定性,广泛应用于切削刀具、磨具、导热器件、光学窗口等领域。脉冲激光尤其是超短脉......
喷粉微加工技术是对硬脆材料进行微细加工的一种非常有潜力的加工方法.喷粉加工是基于传统的喷砂技术发展起来的一种加工硬脆材料......
介绍了微细电火花机床的实时数字控制系统，系统采用开放式PC平台结构，硬件采用自行开发的ISA控制卡。通过硬件定时和虚拟驱动程序相......
原子力显微镜(AFM)在完成对单晶硅的微加工后,其金刚石针尖被用做一个纳米压痕头以实现微加工区域内外机械性质的测量与分析.结果......
聚焦离子束（FIB）是一种将微分析和微加工相结合的新技术,广泛应用于芯片电路修改、研磨、沉积和二次电子离子成像。扫描显像技术是FI......
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提出了微进给装置的数字ＰＩＤ控制及其参数的寻优控制方法，设计了自寻优数字ＰＩＤ调节调节控制模型。分析了微进给数字控制系统的影响因素， 微......
介绍了微型变压器的特点和目前的几种主要的微型变压器，说明了它们的结构、材料和制作工艺。并总结了微型变压器的现状，展望了前景。......
采用微加工工艺制备出一种聚合物微锥阵列。利用扫描电子显微镜（SEM）分析了在Si（100）衬底上通过微加工所获得的孔洞阵列和采用聚合物填......
准分子激光在激光光刻和微细加工中有广泛的应用,要求激光具有好的稳定性和光束波面均匀性.介绍了准分子激光的波面特性以及波面分......
超窄脉冲电源是实现微细电解加工的关键技术。本文设计了一种新型双路微细电解电源，包括超窄脉冲的产生和功放、加工过程中检测电路......
利用聚焦的高重复频率飞秒脉冲在聚甲基丙烯酸甲酯薄片内部制作了具有优良光学性能的微球凸透镜及微球凹透镜.微球凸透镜的加工原......
