半绝缘砷化镓相关论文
纳秒、亚纳秒超快高压电脉冲在超宽带雷达、低温等离子体技术、生物医疗、激光技术等国防、科研及工业领域具有广阔的应用前景。近......
本文报道了整锭热退火对IEC-SI-GaAs单晶特性的影响.研究发现,在950℃温度和5小时条件下,对SI-GaAs单晶整锭热退火后,单晶的电阻率......
<正>一、引言 半绝缘砷化镓晶体是砷化镓场效应晶体管(FET)的衬底材料,它的质量直接影响FET器件的性能,特别是该器件采用离子注入......
利用金相显微镜和微区红外测量技术分析热处理对液封直拉法生长的大直径半绝缘砷化镓(LEC SI-GaAs)单晶中深施主缺陷EL2的影响。结......
液封直拉法生产的半绝缘砷化镓单晶(LEC SI-GaAs)被广泛用于微波器件和高频集成电路的衬底材料,成为当代信息产业的重要材料之一。随......
本文利用红外光谱分析技术系统分析大直径LEc(Light Energy converter光能转换器)Si-GaAs中深施主缺陷EL2的浓度分布.实验结果表明......
通过波长为1064 nm的重频激光光脉冲触发半绝缘GaAs光导开关损伤测试实验,观察脉冲激光触发过程中光电导开关电阻率的变化,对比低......
通过AB腐蚀 (由Abrahams和Buiocchi发明的腐蚀方法 ,简称AB腐蚀 )、KOH腐蚀 ,经金相显微镜观察、透射电子显微镜能谱分析、电子探......
研究了LEC-SI-GaAs单晶热处理前后深能级陷阱的变化,比较了原生晶体在不同条件的热退火后SI-GaAs单晶中深能级陷阱的特性,分析了产......
本文利用光学显微技术系统分析热处理对液封直拉法生长的半绝缘砷化镓(LEC SI-GaAs)中本征缺陷的影响。实验结果表明,晶体生长后的......
分析了半绝缘(SI)GaAs表面光伏的特点和公式。用表面光伏方法测量了不同砷压热处理SI-GaAs单晶的双极扩散长度,用1.1μm红外吸收法测量EL2浓度,并对测量结构......
用离子注入的方法把Mn注入到非掺杂半绝缘(100)GaAs中,用霍尔以及电化学C-V方法研究了热处理温度对样品电特性的影响.发现在650~850......
对非掺杂(ND)半绝缘(SI)液封直拉(LEC)GaAs单晶在500~1170℃温度范围进行了单步和多步的热处理和淬火,研究了热处理及淬火对GaAs中E......
稳定的欧姆接触对半导体器件的正常工作起到至关重要的作用.目前市场上主要采用金/金锗镍合金作为n型GaAs的电极材料,工艺复杂,成......
用离子注入的方法把Si注入到大直径LEC SI-GaAs中,用霍尔测量方法研究了热处理条件对样品电特性的影响。发现在快速热退火温度为90......
砷化镓(GaAs)是一种重要的化合物半导体材料,具有电子迁移率高、直接跃迁型能带结构等优点,适合于制造高频、高速、耐高温、抗辐射和发......
半绝缘砷化镓(SI-GaAs)的抛光片作为微波大功率器件、低噪声器件等的重要衬底材料而被广泛应用。为提高产品的表面质量、良品率以......
对非掺杂(ND)半绝缘(SI)液封直拉(LEC)GaAs单晶在 950℃下进行了不同 As压的热处理,研究了热处理对材料电特性的影响.发现在950℃温度和低As压条件下 进行14h热处理,......
在 950℃和 1120℃温度下,对非掺杂(ND)半绝缘(SI)液封直拉(LEC) GaAs 单晶进行了不同砷气压条件的热处理,研究了热处理对本征缺陷......
本文介绍了热激电流谱(TSC)测试方法,测量了SI-GaAs材料的TSC特征谱图。并对SI-GaAs的深能级中心的行为进行了初步的分析。......
本文报导了LEC法半绝缘砷化镓单晶中含碳量对SI-GaAs热稳定性的影响。在800℃以上退火,发现当晶体中C含量大于1.5×1016cm-3时,SI-......
GaAs晶体是一种电学性能优越的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料,以其为衬底制作的半导体器件及集成电路,由于具有信息处理速度快等优点而受......
垂直梯度凝固法(VGF)生长的低位错半绝缘(SI)GaAs单晶存在电阻率和迁移率低、电学补偿度小、均匀性差等问题.在3种不同温度条件下,......
脉冲功率技术在科学实验、国防、生物医学以及环境保护等领域有着广泛的应用,而脉冲功率技术的发展要求作为脉冲功率系统关键元件之......
砷化镓(GaAs)是一种重要的化合物半导体材料,具有电子迁移率高、直接跃迁型能带结构等优点,其用途主要在两方面:一为SI-GaAs微电子器件;......
对多批不同束源的LEC SI-GaAs进行了15K及变温、变激发光强的光致发光PL测量,并对不同PL峰值能量下PL强度随样品位置的变化进行了......