铝掺杂氧化锌薄膜相关论文
研究了退火温度对原子层沉积(ALD)生长的铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜光电性能的影响,结果发现:AZO薄膜在600 ℃退火后,X射线衍射峰的半......
铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜是典型的氧化锌材料。伴随着太阳能电池等新兴高技术行业的兴起，AZO薄膜展现出巨大的应用潜力，研究者对AZO的......
透明导电氧化物（TCO）薄膜以其高的透光率和低的电阻率，被广泛应用于太阳能电池、平板显示、特殊功能窗口以及其他光电器件领域。其中，......
掺Al的ZnO薄膜（简称AZO）不但制备简单、价格低廉、无毒无害而且具有透明、导电等优良特性。本文试图将AZO这些特性用于多晶硅半导体......
本文利用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备得到了AZO透明导电薄膜,就两种不同的热处理-退火方式对薄膜的结构与性质的影响做了比较,研......
利用脉冲激光沉积法，在氧气氛下（氧分压为11Pa）以石英玻璃为基体沉积了铝掺杂氧化锌薄膜。靶材选用锌铝合金靶，沉积过程中基体温度保持......
因应新时代电子产品的需求，透明导电薄膜（Transparent Conductive Oxides，TCO）的应用也更加广泛，传统上是使用氧化铟锡（Indium Tin Oxide......
利用日立SU70场发射扫描电镜对铝掺杂氧化锌（AZO）透明导电薄膜进行形貌观察.针对AZO薄膜特点,使用多种测试条件探讨了不同测试条件对......
采用射频磁控溅射法沉积铝掺杂氧化锌（Zn O∶Al,简称AZO）薄膜,研究了本底压强、溅射功率以及沉积时间对AZO薄膜光电性质的影响,优化......
结合ZnO薄膜在Cu-Ⅲ-Ⅵ2基薄膜太阳电池上的应用,采用射频磁控溅射技术以陶瓷ZnO:Al2O3为靶材在ZnS/CuInS2/Mo/钠钙玻璃衬底上于固......
制备了掺杂质量数为1%,2%,3%和4%Al2O3的ZnO靶材.用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al(ZAO)透明导电薄膜试样.用X射线衍射......
通过直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了一系列铝掺杂氧化锌透明导电薄膜,研究了氧气分压和衬底温度对铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的......
Al掺杂ZnO（AZO）薄膜作为第三代透明导电氧化物（TCO），是当前半导体领域的研究热点。本文利用射频磁控溅射技术，以掺Al质量分数为3%的Al:Zn......
采用电子束蒸镀方法在Si(100)衬底上沉积了ZnO:Al(ZAO)薄膜.在氧气气氛下对ZnO:Al薄膜进行了退火处理,退火温度的范围为400～800℃.X......
为研究退火气氛对氧化锌（AZO）薄膜光电性能的影响,采用溶胶-凝胶法在石英基片上制备铝掺杂AZO薄膜。利用X射线衍射、场发射电子扫描......
本文采用溶胶-凝胶法以提拉的方式在普通玻璃基底上制备出n型掺杂具有优良光电性能的氧化锌掺铝（AZO）薄膜,并以磁控溅射AZO薄膜为种......
