磁控溅射方法相关论文
铁磁/铁电复合结构的界面耦合效应是人们研究的热点之一[1]。在尖晶石铁氧体/钙钛矿多铁材料构成的全氧化物异质结构中,氧离子(......
本文工作采用低温磁控溅射方法在NSG CF51 导电玻璃上制备CdTe 多晶薄膜电池,结构为:glass/SnO2∶F/CdS∶O/CdTe/metal contact......
本文采用反应磁控溅射方法,沉积制备Nb2N及NbN薄膜,研究了N2流量对Nb-N薄膜相结构、组织形貌、机械性能及抗氧化性的影响,探讨......
本文利用反应磁控溅射方法在晶格匹配的ZnO衬底上外延生长出单一六方相的Mg0.49Zn0.51O薄膜,并制备了金属-半导体-金属结构的......
不锈钢是理想的质子交换膜燃料电池(PEMFC)双极板材料,但其在燃料电池工作环境易发生腐蚀,需对其表面进行处理.本文采用磁控溅射方......
采用非平衡闭合场磁控溅射方法在Cr12MoV冷作模具钢表面制备CrN涂层和CrMoN涂层,通过XRD、显微硬度、划痕和磨损试验综合分析涂层......
采用Ti/B4C复合靶作为靶材,通过磁控溅射方法沉积了成分、结构可调的Ti-B-C薄膜。利用X射线光电子能谱(XPS)和X射线衍射(XRD)分析......
铜铟镓硒(CIGS)薄膜电池具有性能稳定、寿命长、光电转化效率高等特点,是目前最有发展前景的太阳能电池之一。然而铜铟镓硒电......
日盲紫外探测器,由于其强抗干扰特性,在近地通讯、电网检测和火灾监控等领域有广泛应用前景。在实际信号探测过程中,日盲紫外信号在传......
随着科技的发展,透明导电薄膜得到了越来越多的应用,例如各类触摸屏、太阳能电池、液晶显示器等。到目前为止,最常用的是基于In2O3,ZnO......
随着卫星,雷达,通信,航天等技术的不断发展,促使微波器件和组件向着小型化、高频、大功率等方向发展。微波匹配负载作为微波电路组件和......
微电动机械系统(MEMS)、高速大容量计算机芯片、植入式医疗器件以及智能卡等的发展,要求可集成、高能量密度、可充电的新型能量载体......
本文采用磁控溅射方法制备了SmCo系列单层和多层磁性薄膜,并采用X射线能量色散谱仪(EDS)、X射线衍射分析仪(XRD)、振动样品磁强计(......
本文进行了弥散强化铜复合材料的制备与性能研究。目的在于研究不同成分的弥散强化铜材料,制备新一代弥散强化铜复合材料。 首先......
该工作利用磁控溅射方法对可从衬底上分离的NiTi形状记忆合金薄膜的制备、微结构、结构和相变特性进行了深入系统的研究.结果表明......
该文采用Raman光谱和X射线小角衍射方法对所制备的Ge/Si多层膜的结构进行了实验和理论上的分析.在实验上,对各种Ge/Si多层膜进行了......
随着信息技术的迅猛发展,光电子信息材料是本世纪最受关注的材料之一。ZnO是一种多功能的半导体材料,激子束缚能高达60meV,是一种......
实验使用磁控溅射和真空退火系统制备Fe3Si/MgO/Si多层膜结构。通过控制溅射时间来控制绝缘层MgO的厚度为20 nm、50 nm、100 nm、1......
YbAl3因其良好的热电性能而受到研究者广泛关注,但目前的研究大多集中在YbAl3块体材料掺杂和填充优化热电性能方面,尚无关于YbAl3......
作为一种新型磁性材料,ε-Fe2~3N的微观结构、磁学性能及电学性能可以通过调控Fe:N比例、掺杂等方式进行调控,因此在自旋电子学研究......
用磁控溅射方法在玻璃基底上制备了非晶Si/SiO2 超晶格 .利用透射电子显微镜 (TEM)和X射线衍射技术对其结构进行了分析 ,结果表明 ......
通过磁控溅射方法制备了氮含量不同的氮化铁薄膜,观察到随着氮含量的增加,薄膜的导电机制从金属到半导体的转变。霍尔电阻的测量表......