反射系统相关论文
16 nm极紫外光刻(EUVL)物镜热变形是影响其高分辨成像的主要因素之一。为了给EUVL系统热管理提供可靠的技术依据,对数值孔径为0.33......
10nm以下光刻技术牵引极紫外(EUV)光刻物镜向超高数值孔径(NA)、组合倍率设计形式发展,物镜系统的入射角和入射角范围因此急剧增大......
对于分布式系统,国内外已进行了长时间的研究。通常采用中间件的解决方案,来解决异种环境中的互操作性。研发前期,人们主要将精力......
在动态、开放和个性化的网络平台上，软件容易受到环境变化和用户需求改变的影响。系统管理人员为维持软件的正常运行，对软件系统进行......
光学成像系统的极限分辨率受到系统孔径和波长的限制,增大系统孔径是实现高分辨率目标成像的必然选择。然而,大口径光学系统的加工......
极紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)光刻是实现11nm及以下节点光刻技术中最具潜力的光刻技术。EUV光刻投影物镜系统使用反射式光学元......
本文介绍一个数值孔径0.4、视场10×10mm~2可用于1:1分步投影光刻机的镜头的光学设计及其模型实验结果.光学设计在Wynne-Dyson的1:......
本文从三级像差理论导出了三镜系统消S_Ⅰ、S_Ⅱ、S_Ⅲ、S_Ⅳ的代数解.以第二及第三镜的遮拦比和放大率,以及三个镜面的面形系数为......
为了更好地利用区域结构函数评价大口径反射镜表面面形,引入了Randon变换作为区域结构函数坍陷的工具。对于使用Randon变换进行区......
要将乐谱变为优美的音乐，或将音乐变成乐谱，是许多学习音乐的学生感到十分困难的事。于是许多人开始满足于跟琴、跟媒体学，将乐谱成为......
什么是习惯，从心理机制上说，习惯是经过长期多次强化和积累而建立起来的一种动力定型和自动化的条件反射系统。从教育学的角度看，习惯......
在当今各国军事实力日益增强的今天，战场上对敌有效打击成为战争成败的重要举措。因此，目标指示器，尤其是激光目标指示器，在军事中的地......
提出了一种基于多模法布里-珀罗激光器外调制的移频本地外差检测布里渊光时域反射系统,分析了系统提高光纤受激布里渊散射阈值和移......
识别一只猫有多难?对于我们人类来说,识别一只猫可以在瞬间完成,而对于计算机来说,由于它不具备人类大脑高度发达的神经反射系统,......
所谓习惯是在一定时间内逐渐养成的,它与人后天条件反射系统的建立有密切关系,它满足人的某种需要。由此习惯可能起到积极或消极两......
太赫兹时域光谱技术是一种新兴的无损探测技术。利用太赫兹波的低能性以及大部分生物分子的振动跃迁和旋转在该频段表现出的强色散......
在三反射镜光学系统的几何光学理论的基础上,设计了一个焦距f=1000mm,相对孔径D/f=1/4,视场角2w=3°的离轴非球面三镜反射系统,讨......
基于三级象差理论，分析了几何象差对正入射望远镜性能的影响，总结了弥散斑角宽度θ随着系统f数和半视场角up的变化趋势．弥散斑的角宽......
我们知道，光学望远镜可以分为三类。即折射望远镜、反射望远镜和折反射望远镜。前二者我们已经分别叙述过，现在讲解折反射望远镜的诞......
为了将椭圆高斯光束整形为圆形平顶光束,设计了一种无中心遮拦反射式两镜整形系统。根据能量守恒思想,选择匀化洛伦兹函数作为出射......
手术是一种应激源,接受肝胆外科手术的患者在术后往往会为机体受到伤害性刺激而引起不良的身心反应,而这会对手术预后造成十分不利......
动脉压力感受性反射(arterial baroreflex,ABR)是心血管活动的最重要的调节机制。我们系统地研究了ABR功能与许多心血管疾病预后的......
在彩妆领域里，唇膏是最具诱惑的终极武器。但是美丽的色彩总是昙花一现，动人的色彩难以保持，而能持久的唇膏又不能给以鲜亮动人的色泽......
<正>日常生活中,我们能听到的声音,都要借助空气传播,其速度约为340米/秒。声音除了能在空气中传播,也可以在水、木头、玻璃、钢材......
针对传统形式三反光学系统难以实现大视场的缺点,提出了一种基于反摄远结构的三反光学系统,并获得初始结构参数求解方程。在反摄远......
针对极紫外光刻照明系统光能利用率低的问题,设计了一套高光能利用率极紫外光刻波纹板照明系统。该系统中波纹板面形采用柱面镜阵......
极紫外(EUV)光刻物镜设计不仅要在系统优化阶段尽可能减小残余像差,还必须选择像质补偿器合理分配各项公差,从而在保证系统可制造......
本文主要介绍一种折反式镜头结构参数的解算程序和解算公式。通过这个程序,可以保证在一定的中心拦光比和后工作距离的前提下,由给......
近年来,人们在对激光动态跟瞄系统的研究中,大多希望它可以满足大口径、高分辨率、远距离的跟踪和瞄准,同时,具有较高的反射率、较......
紫外光刻被认为是经典光刻的潜在替续者,本文给出几种典型的具有现代水平的设计,着重介绍环场投影系统的设计特色,讨论了某些新设......
在文字检验鉴定实践中,阿拉伯数字笔迹的检验,具有重要的作用。笔者利用数字转折角度的大小对一起“制造假存款单冒领存款”案进行......
极紫外光刻是16～22nm光刻技术节点的候选技术之一,其投影物镜设计需在满足像质和分辨率要求的前提下,兼顾工程可实现性。在考虑加工......
在强光辐照情况下，主镜表面粗糙度产生的散射是引起反射系统视场内杂散光的主要因素之一。本文针对主镜的散射，提出了一种简单的处理......
为满足无遮拦三反射镜光学系统体积小、光学性能高的发展需求,提出了一种圆周式三反光学系统.以近轴矩阵法求解的共轴三反系统为初......
从共轴三反射系统的基本理论出发,通过偏瞳和偏视场相结合的方式设计了一个圆视场离轴三反射光学系统,全视场为5°,焦距f=5000mm。......
结合反射系统中双反射和三反射各自的优缺点,提出一种特殊的两镜三反光学系统,给出其初始结构的确定方法。对其结构优化过程中,在......
从系统焦点不引出主镜背后的格里高利系统出发,偏瞳后在其一次像面处加球面反射场镜来校正畸变等像差,并采纳了折轴三反射系统的结......
对比反射系统中双反射系统和三反射系统各自的优缺点,提出一种新型的无遮拦两镜三反射光学系统。与现在常用的离轴三反射光学系统......
