直流磁控溅射法相关论文
利用直流磁控溅射法在有机玻璃基底上沉积掺杂氧化铟锡（ITO）透明导电薄膜，在室温条件下，研究了溅射功率、溅射气压、靶基距和氧氩流量......
本文以纯度为99.99％金属Ti为靶材,玻璃为基底,Ar为溅射气体,N2和O2的混合气体为反应气体,通过直流磁控溅射法制备不同参数下的TiO2-......
在机械加工过程中，由于刀具与工件间的摩擦，特别是高速切削时，摩擦副快速上升的温度，极易短时间内导致刀具失效。过渡金属氮化物作为切......
面对全球能源短缺、环境污染等难题,太阳光伏发电是其有效解决途径之一,因此研究低碳、高效太阳电池迫在眉睫。本课题根据太阳电池......
Ti-Si-N硬质膜因具有硬度高、内应力低、膜基结合强度高、耐磨性优良、热稳定性和化学稳定性好以及制备工艺简单等优点,很好的符合......
本研究以制备出高性能的1-3型超声探头用压电材料为目的，参考有限元分析软件ANSYS的分析结果，采用改良的切割-填充法制备了压电相体......
Fe-N 薄膜因其具有高饱和磁化强度、低矫顽力,有望获得较高的微波磁导率,而在集成化微磁器件、抗电磁干扰以及新型雷达波吸收材料......
氧化镉作为一种宽禁带(Eg=2.3eV)直接带隙化合物半导体，对应的波长处于太阳光谱在可见光波段能量最强值510nm附近。CdO以其高载流子......
采用直流磁控溅射法在普通的载玻片（10×10×1.2mm）和400目覆碳的铜网（Φ3mm）上制备了氧化铟锡（ITO）透明导电薄膜。所用的靶材是高纯度（99......
ZnO是一种具有广阔发展潜力的光电材料,室温下禁带宽度为3.37 eV,激子束缚能为60 meV,容易生长且成本低。Ce是一种重要的稀土元素,......
四氧化三铁（Fe3O4）是典型的半金属材料,它是室温测量条件下自旋极化率最高的半金属材料,极化率高达84%,而且具有高达860K的居里温度......
有机薄膜电致发光器件（OLED）自20世纪80年代末成为电子显示领域一颗耀眼的明星。它具有低压直流驱动、主动发光、色彩饱和度好、视角......
建立在磁光克尔效应基础上的磁光存储技术兼有磁存储和光存储的优点。蓝光技术和超分辨读出技术是提高磁光存储密度的两个重要手段......
随着磁性元件不断的向微型化、集成化、高频化方向发展，具有优良性能的软磁薄膜材料得到了深入的研究，并在记录磁头、垂直磁记录媒介......
ZnO是一种宽禁带半导体材料，为六方晶体(纤锌矿)结构，与GaN的晶格结构相同。室温下ZnO的禁带宽度为3.37eV左右，激子束缚能为60meV，是继......
研究者们发现结构色具有虹彩效应、高反射率、偏振性等优点。近些年大量的实验研究已经证明结构色与微观结构之间有着密切关系，因此......
随着信息技术应用范围扩大和电子产品数字化发展,对电子器件和作为电子元器件的基础材料提出了更高的要求。目前,集成电路技术依然......
尽管铜合金拥有高电导率和良好的耐蚀性能,但其用途主要因其物理特性如高密度、低硬度和低力学性能而受到限制.为了寻求增加铜用途......
ZnO是一种具有宽带隙(3.37eV)、高激子束缚能(60meV)的N型直接带隙半导体材料。由于具有多种优异特性，使其在薄膜电致激发器件、阴......
用直流磁控溅射法在室温Si基片上制备了溅射时间分别为5 min和10 min,氩气压强分别为0.7、3、6 Pa的6种Al膜,用光学相移法和X射线......
本文采用直流磁控溅射方法在(100)取向的LaAlO3基片上制备了系列多层膜: La0.67Ca0.33MnO3-δ/La0.67Sr0.33MnO3-δ/La0.67Ca0.33M......
太阳能是一种可再生清洁能源,其储量巨大,取之不尽,用之不竭,对环境无污染,对它的应用研究已成为今后人类能源发展的主要方向之一......
采用直流磁控溅射法在空芯玻璃微球表面镀Al膜,将空芯玻璃微球、镀Al膜玻璃微球和高分子粘合剂按一定比例混合制成人工介质材料。......
<正> 最近,以溅射镀膜法制备的日光控制玻璃在建筑和汽车上广泛使用。TiN_x和CrN_x薄膜是日光控制玻璃的典型可选材料。TiN_x薄膜......
<正> Si_3N_4和AlN薄膜被广泛应用于微电子和光学领域,它们大多是利用CVD方法在基片温度高达1300℃下制成的.利用RLVIP和RDCMS方法......
有机薄膜电致发光器件(OLED)自20世纪80年代末成为电子显示领域一颗耀眼的明星。它具有低压直流驱动、主动发光、色彩饱和度好、视......
众所周知，单晶硅是当今微电子器件的主要基底材料。硅基器件占了IC和 分立器件的绝大部分份额。然而，作为电子器件用材......
三氧化钨(WO3)薄膜是一种重要的功能材料,因具有良好的电致变色、气致变色、光致变色、电化学性能而得到广泛的研究和应用,尤其是......
用溶胶-凝胶法和直流反应磁控溅射法制备了表面均匀致密的三氧化钨薄膜,并用双光束紫外可见分光光度计和X衍射分别对薄膜的透光性......
太阳能作为一种清洁环保的可再生能源,在传统能源日益枯竭的情况下已经越来越受到重视,并广泛应用于各种领域,如一体化太阳能航标......
三氧化钨（WO3）薄膜是一种重要的功能材料,因具有良好的电致变色、气致变色、光致变色、电化学性能而得到广泛的研究和应用,尤其是其......
氧化锌(Zinc oxide,简称ZnO)是一种新型的宽带隙化合物,是N型半导体材料。常温下它一般具有3.37eV的禁带宽度和60MeV的激子束缚能......
一、前言在半导体器件工艺中,随着大规模集成电路向超大规模集成电路的发展,器件的尺寸不断缩小,而片子的面积不断增大,这样金属-......
