液态金属离子源相关论文
发射系统是液态金属离子源的关键部件之一,它的性能的优劣直接影响到整个离子源的工作稳定性和可靠性.因而对其发射系统进行仿真分......
该论文的任务是带有质量分离器的二级静电透镜聚焦离子束系统的部分设计和整机调试、AuSi合金液态金属离子源的研制以及利用所研制......
本文对液态金属离子源(Liquid metalion source,简称LMIS)的基本理论、尖端模型及理论研究基本成果等作了较为全面的评述,指出了一些......
聚焦离子束(FIB)技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术。它突破了只......
对Au-Si-Be液态金属离子源的发展进行了较详细的介绍,包括源的结构、发射特性,以及不同的合金配比、源工作温度、环境气体、系统真空度......
针对液态金属离子源的发射系统属于轴对称系统的特点,采用动态喷流柱模型,利用模拟电荷法对液态金属离子源发射系统的电场进行了计......
本文介绍了一种具有高速消隐和可变束流的二级透镜聚焦离子束(FIB)系统的设计原理和方法。在这种新的二级透镜FIB系统中,采用了束径束流的双......
随着微米/纳米科学技术的发展,微细加工微区分析所用的主要技术之一-聚焦离子束技术引人注目。本文简述了具有液态金属离子源的聚焦离......
建立了一台简单实用的单级透镜聚焦离子束(FIB)系统。该系统采用优越的Ca ̄+液态金属离子源(LMIS)和单级O-S透镜,在束能为20keV、束流为300pA时,束径达到0.3μm。改进了......
镓液态金属离子源广泛应用于聚焦离子束技术,本文介绍了一种利用电子轰击的方法制备镓液态金属离子源的工艺和设备,测试了源的I-V发射特......
针对液态金属离子源的发射系统属于轴对称系统的特点,采用动态喷流柱模型,利用模拟电荷法对液态金属离子源发射系统的电场进行了计......
叙述了为纳米聚焦离子束装置研制的镓液态金属离子源的制备,并对该离子源的I-V特性、角电流密度、稳定性以及寿命等性能进行了测试......
本文介绍了Au-Si LMIS的结构以及源的发射特性,利用E×B质量分析器,获得了Au-Si LMIS的质谱图,对实验误差进行了理论分析。......
液态金属离子源(LMIS)的亚微米聚焦离子束(FIB)在现代分析技术和微细加工等领域有很多应用。介绍一种计算机控制的快速、灵活、准确的......
聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术.它大大提高了微电......
液态金属离子源的发射系统是源设计当中一个十分重要的因素,它的性能的优劣将直接影响到整个离子源的发射特性,进而影响整个聚焦离......
发射系统是液态金属离子源的关键部件之一,它的性能的优劣直接影响到整个离子源的工作稳定性和可靠性.因而对其发射系统进行仿真分......
设计了一种聚焦离子束系统用液态金属离子源(Liquid Metal lon Source-LMIS),本文对该源组件结构的设计、发射针尖的腐蚀工艺、挂金......
从Taylor理论出发,讨论了液态金属离子源(LMIS)发射圆锥的形成及其条件,并讨论了LMIS发射机理及离子束的特性,发现场蒸发是离子产生的重要原因,热蒸发中......
对聚焦离子束加工技术在集成电路芯片的诊断与修改、修复光刻掩模缺陷、制作透射电镜样品以及多用途微切割上的应用作了详细介绍.......
发射尖是液态金属离子源的关键部件之一,其性能的优劣直接影响到整个离子源的工作稳定性.本文通过对源尖腐蚀的多次实验,开发了一......
叙述了为纳米聚焦离子束装置研制的镓液态金属离子源的制备.发射尖的腐蚀采用自主开发的一套发射尖腐蚀设备腐蚀而成,该设备保证了......
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早在上世纪70年代,一些卫星多次出现事故以及“国防卫星通信系统”(DSCS)9431卫星完全失效,引起了人们对航天器充电问题的关注。美国航......
航天器在轨运行期间太阳光照条件下,受光电子发射影响,航天器光照表面的电位达到正的数十伏。航天器表面带电现象会对其在轨安全稳......
本文简要讨论了聚焦离子束中的离子光学问题,包括液态金属离子源的发射机制和发射特性,如虚源、角电流强度、能量分散、伏安特性、......
聚焦离子束(Focused Ion Beam-FIB)技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工......
介绍了现阶段两种用于聚焦离子束系统的离子源——液态金属离子源和气体场发射离子源的基本原理,并对比了它们的优缺点。由于目前......
建立了一台简单实用的单级透镜聚焦离子束(FIB)系统。该系统采用优越的Ca ̄+液态金属离子源(LMIS)和单级O-S透镜,在束能为20keV、束流为300pA时,束径达到0.3μm。改进了......