MO薄膜相关论文
随着移动通信技术的不断发展,通信频段不断提高,同时工作带宽也将进一步增大,对现有的滤波器在性能上提出了新的需求。传统的声表......
第一代半导体材料（硅）和第二代半导体材料（砷化镓GaAs,磷化铟InP）由于禁带宽度较窄,已经不能适应半导体技术发展的要求。氧化锌（ZnO）和氮......
CIGS薄膜太阳能电池的传统背电极中的导电层为了满足电阻要求,必须使用较厚的Mo薄膜作为电子传导层进行电流传输,同时作为电子触头......
用直流平面磁控溅射方法在抛光玻璃衬底上淀积Mo薄膜,将薄膜在真空环境中进行热处理,用扫描探针显微镜(SPM)方法观察了薄膜的表面......
采用直流磁控溅射工艺，在不同溅射压强条件下制备了薄膜太阳电池用金属Mo背电极。用场发射场发射扫描电子显微镜（FESEM）和四探针测试......
ZnO薄膜材料作为一种新兴的材料,在半导体光电子领域有着广泛的应用前景。本文利用磁控溅射法在Si衬底上先生长一层Mo缓冲层,然后......
在不锈钢基体上采用离子束混合技术及电子束处理方法进行Mo薄膜沉积，沉积后的试样再进行氢离子注入．分别对氢离子注入前后的样品进行......
本文采用直流磁控溅射方法,改变溅射功率和溅射气压,在不锈钢基底上制备了金属Mo薄膜。分别采用XRD、SEM和傅立叶红外光谱仪对不同......
实验采用直流磁控溅射沉积技术在不同溅射功率下制备Mo膜,研究了不同溅射功率下Mo膜的沉积速率、表面形貌及晶型结构,并对其晶粒尺......
采用直流磁控溅射技术，制备了厚度为3．8μm的Mo薄膜，并对其在不同温度下进行了退火处理。采用白光干涉仪和SEM对Mo薄膜进行了表征，讨论......
CIGS薄膜电池是一种具有发展前景的、经济高效的、可用作光伏发电的太阳能电池。目前,它的电池效率已经达到了21.7%。在改善电池效......
太阳能是一种可再生清洁能源,其储量巨大,取之不尽,用之不竭,对环境无污染,对它的应用研究已成为今后人类能源发展的主要方向之一......
采用直流磁控溅射工艺,在一定条件下通过控制溅射时间,在钠钙玻璃上制备了不同厚度的用于Cu(Inx,Ga1-x)Se2薄膜太阳电池背接触材料......
分别用磁控溅射法和共蒸法沉积了Mo和CIGS薄膜。考察了气压和CIGS高温沉积环境对Mo薄膜的影响,研究了Mo基底对CIGS结构和形貌的影......
对离子束混合技术在不锈钢基体上沉积的钼膜进行了H^＋辐照前后的XPS分析，研究了H^＋辐照对钼膜的结合能的影响。分析结果表明，沉积的钼......
本文主要通过直流磁控溅射法在普通钠钙玻璃(SLG)衬底上制备金属Mo薄膜,通过调节溅射沉积时间、溅射工作气压、溅射沉积功率和基片......
在室温下,利用不同磁感应强度相对分布因子S的磁控阴极溅射沉积了金属Mo薄膜。实验研究了磁控阴极S值对放电参数、Mo薄膜的结构、......
利用直流磁控溅射法在普通钠钙玻璃(SLG)衬底上沉积双层Mo薄膜,对不同条件下沉积的薄膜通过X射线衍射(XRD)仪、扫描电子显微镜(SEM......
运用脉冲激光沉积（PLD）技术在Si（100）基片上沉积了金属Mo薄膜。在激光重复频率2Hz，能量密度5．2J／cm^2，本底真空10^-4Pa的条件下，研究Mo薄膜......
使用直流磁控溅射法在玻璃基底上沉积Mo薄膜,采用X射线衍射仪、原子力显微镜和四探针测试系统研究了溅射工艺对Mo薄膜的结构、形貌......
采用直流磁控溅射法在SLG衬底上沉积Mo薄膜,对不同溅射功率和溅射工作气压下沉积的薄膜进行X射线衍射、SEM(扫描电子显微镜)、电阻......
利用直流磁控溅射技术在单晶Si(110)基底上制备Mo薄膜,分析了工作气压对沉积速率、表面质量及微观结构的影响。结果表明:薄膜的沉......
采用直流磁控溅射沉积技术在不同工作气压下制备Mo膜,研究了工作气压对Mo膜的沉积速率、表面形貌及晶型结构的影响规律,研究表明:......
采用直流脉冲磁控溅射方法在SLG衬底上沉积CIGS太阳电池背接触Mo薄膜,研究了薄膜的光学和电学性能随厚度的变化关系。结果表明,随......
利用磁控溅射法在玻璃基片上进行了太阳能电池预镀层Mo薄膜的制备，研究了氩气分压、溅射功率、溅射时间等工艺条件对Mo膜性能及厚度......
铜铟镓硒(简称CIGS)薄膜太阳电池凭借其光电转换效率高、无衰退、性能稳定、成本低廉等特点备受人们瞩目,是一种最具有发展前景的......
利用直流脉冲磁控溅射方法在玻璃衬底上制备太阳电池背接触Mo薄膜。通过台阶仪、四探针电阻仪、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计......
寻找廉价、可再生的新型清洁能源己成为当前人类面临的迫切课题。CIS/CIGS薄膜太阳电池以其廉价、高效、性能稳定等优点,成为当今......
利用磁控溅射技术在Soda-lime玻璃衬底上沉积CIGS薄膜太阳能电池用金属Mo背电极薄膜，并研究了Mo靶功率、基片脉冲宽度以及预清洗时......
采用磁控溅射设备和经过不同温度热处理的Mo靶材,以相同的溅射工艺参数,在Si基片上制备了Mo金属薄膜,研究了靶材的热处理温度对Mo......
基于正交试验设计,采用射频磁控溅射技术在不同工艺条件下制备了一系列纯金属Mo薄膜。以薄膜的纳米硬度和结合强度为评价指标,考察......
