光刻法相关论文
拉曼光谱是一种高效的检测工具,可广泛应用于生物传感、化学分析和单分子检测等方面。贵金属阵列拉曼衬底具有高灵敏度、高重复率......
用投影光刻法制出了在6千兆赫下最佳噪声系数为1.6分贝的砷化镓金属-半导体场效应晶体管(GaAs MESFET)。推出了计算最佳噪声系数......
离子注入进行掺杂是制备新型半导体器件的重要手段。研究离子注入产生的缺陷的形态与通过不同退火方式引起这些缺陷组态的变化对......
随着集成电路功效越来越多,电路特征尺寸变得越来越小,超过制造电路图样的微光刻系统的分辨率和极限精度。今后几年,研究人员将寻......
微纳流控芯片技术是一门新兴技术,是包含生物、化学、物理等学科的交叉学科,其制作方法涉及半导体制造,与光学检测结合可以应用于......
细胞是生物体最基本的结构单元和功能单元,细胞的研究是生命科学研究的基础,对人类的发展具有重大的意义。对细胞的形态、繁殖与分......
细胞微图型化技术是一个多学科高度交叉的领域，它在许多方面有着重要的潜在应用：第一，可应用于大规模的药物发现与筛选；第二，是细胞传感......
分析了偶数点阵达曼光栅的设计原理与特性。利用数值优化方法，获得了一组64×64点阵达曼光栅解。光栅模版用电子束制版法制成，其最细......
利用金属掩模法优化了制备磁性隧道结的实验和工艺条件,金属掩模的狭缝宽度为100μm.采用4nm厚的Co75Fe25为铁磁电极和1·0或0·8n......
波导多层存储器（WMS）的原理是以波导缺陷形式记录数据，通过缺陷的光散射效应读出数据，并利用波导对光的空间约束作用抑制层问串扰。介......
美国麻省阿默斯特大学Ryan Hayward和Christian Santangelo研究小组的研究人员证明，利用半色调凝胶光刻法和紫外线，通过光转移可以将......
将明胶涂覆在表面经过取向处理的带有 ITO电极的玻璃基板上,以紫外灯为光源,通过光掩模法,使明胶在光场的引发下发生光化学反应,样......
提出了一种用于大规模多晶硅太阳能电池生产的制绒工艺,采用负性光刻胶作为湿法刻蚀的掩膜,制备蜂巢状低反射率绒面。通过研究氢氟......
基于部分像素衍射屏的原理 ,提出一种结构更为简单 ,更易实现的新型衍射元件 (DOE)。给出这种衍射元件的设计方法 ,与以往的衍射屏......
智能变形在自然界广泛存在,且由于在生物医用、柔性器件、软机器人等领域的应用前景而备受关注。经过多年发展,研究人员通过精细的......
本论文主要研究的是一种使用量子点作为光波长转换材料的像素化彩膜,探究了其组成材料,制造方法与应用等方面的内容,此彩膜可以用......
在所有彩色液晶显示（ＬＣＤ，ｌｉｑｕｉｄｃｒｙｓｔａｌｄｉｓｐｌａｙ）用彩色滤色膜（ＣＦ，ｃｏｌｏｒｆｉｌｔｅｒ）的制造技术中，颜料分散光刻胶光刻法在大面积、高分辨率的ＣＦ商业生产中占主导地位。本文介绍了ＣＦ对颜料......
分析了偶数点阵达曼光栅的设计原理与特性。利用数值优化方法 ,获得了一组 6 4× 6 4点阵达曼光栅解。光栅模版用电子束制版法制成......
细胞是生物体最基本的结构单元和功能单元,细胞的研究是生命科学研究的基础,对人类的发展具有重大的意义。对细胞的形态、繁殖与分......
光子晶体作为新型的人工电磁介质材料,具有优异的性能和广阔的应用前景,近年来国内外对光子晶体尤其是对于一维和二维的光子晶体研......
分析了圆刻度机进行圆分划的误差来源,提出了用对径布置双刀架光刻方法来消除圆刻度机主轴晃动及刀架切向位移所引起的刻划误差。......
