氩离子刻蚀相关论文
由于镁合金具有密度低、比强度高、生物兼容性好以及电磁屏蔽性能优良等特点,因此在航空航天、汽车工业以及生物材料等领域发挥着......
本文运用 X 射线光电子能谱(XPS)对等离子气相反应制备的 SiC 超细粉末进行了研究,包括测定各元素的内层电子结合能以及它们在各种......
Ｖ２Ｏ３与聚合物复合可制备室温电阻率０．４Ω·ｃｍ，ＰＴＣ效应高达１０个数量级的热敏电阻材料。讨论了Ｖ２Ｏ３含量、聚合物种类和含量对室温电阻率和ＰＴＣ效应的影响规律......
采用基于Bi2Sr2CaCu2O8+x(BSCCO)单晶的双面工艺制备本征Josephson(约瑟夫森)结.通过单晶解理和双面氩离子刻蚀的方法,成功制备出......
随着5G通信时代的到来,对集成化、微型化以及高频化滤波器的需求与日剧增。基于离子注入剥离（Crystal Ion Slicing,CIS）制备的单晶铌......
本文采用氩离子刻蚀法，将ＳｉＯｘＮｙ膜减薄成不同厚度的样片，并制成Ａｌ－ＳｉＯｘＮｙ－Ｓｉ系统的ＭＩＳ电容器。利用平带电压随膜厚度变化的关系和最小二乘法，测定有效功函数......
采用浸渍法制备了Ｌａ＿２Ｏ＿３、ＴｉＯ＿２、ＺｒＯ＿２以单层状态分散在ＳｉＯ＿２、Ａｌ＿２Ｏ＿３上的改性载体。用ＸＰＳ求得它们的最大单层分散阈值为：０．２２ｇＬａ＿２Ｏ＿３／１００ｍ￣２ＳｉＯ＿２，０．２７ｇＬａ＿２Ｏ＿３／１００ｍ￣２，０．０４ｇＴｉＯ＿２／１００ｍ￣２ＳｉＯ＿２，０．０３６ｇＴｉＯ＿２／１００ｍ￣２Ａｌ＿２Ｏ＿３，０．０７ｇＺｒＯ＿２／１００ｍ￣２ＳｉＯ＿２，０．０８ｇＺｒＯ＿２／１００ｍ￣２Ａｌ＿２Ｏ＿３。Ｌａ＿２Ｏ＿３可以完全铺满ＳｉＯ＿２、Ａｌ＿２Ｏ＿３载体表面，而ＴｉＯ＿２、Ｚ......
用XPS对不同凡的Gd-Ba-Cu-O超导膜做了定量、角分布、成象和离子剥蚀纵深分析．结果表明：样品表面都存在Ba富集和Gd短缺，表面原子微观......
用能量为300eV的入射电子测量了InP(100)与(111)面的电子能量损失谱,识别了能量损失为15.2eV的峰对应于InP的体等离子体损失,11.7e......
用AES结合氩离子刻蚀技术,测量了用SiHCI_3-NH_3或SiCl_4-NH_3体系LPCVD 工艺在硅衬底上生长的氮化硅薄膜组分的深度分布及氮化硅/......
用电子能量损失谱证实了,在超高真空中用氩离子刻蚀所获得的 InAs(111)和 InSb(111)清洁表面上会形成In岛.而生成In岛的容易程度按......
在GaAs外延层上用电子束蒸发Nb及直流等离子体溅射Mo和Au的办法,制备了GaAs-Nb-Mo-Au结构的肖脱基势垒二极管.用XPS结合氩离子刻蚀......
为了优化单晶铌酸锂薄膜光波导的性能,研究了基于单晶铌酸锂薄膜材料的光波导刻蚀工艺.虽然Ar+物理刻蚀能够达到最高95 nm/min的刻......
日立S—530型扫描电镜,随机配一台IB—3溅射仪,供扫描电镜样品溅射金膜之用,附有离子减薄功能。我们近年对减薄功能不断进行摸索。......
本文用扫描隧道显微术研究了经过不同方法处理的高定向裂解石墨(HOPG)表面的性质以及铂在其上的成核和生长.通过控制氩刻及氧化时......
随着全球信息化时代的到来,光通信网络技术正朝着高集成度、高速率、大容量的方向飞速发展。近年来,为提高光网络的适应性和灵活性......
现代的高速切削技术对刀具提出了更高的要求,在刀具上进行硬质涂层沉积是提高刀具综合机械性能,延长刀具切削加工寿命的重要方法。......
本文研究了高温超导薄膜表面经氩离子不同程度刻蚀后其物理性能的变化，并采用离子刻蚀的方法设计制备了一个四节超导滤波器．YBa2Cu2O......
X射线光电子能谱(XPS)是一种分析物质表面(5 nm以内)化学元素及元素化学状态的表面分析技术.由于大部分样品在进行XPS分析前均处于......
