静电键相关论文
铷(Rb)属于希有分散元素,是地壳中分布最广的痕量元素之一。自然界至今尚未发现铷的独立矿物。铷的离子半径(1.49)与钾(1.33)十分......
序号专利类型发明创造名称学院发明人27发明用于检测细菌的免疫捕捉法通用引物PCR方法生命科学彭宣宪,王三英,张建营28发明一种基......
Pauling 为解决硅酸盐等复杂晶体的结构问题,曾根据已测定的结构数据和点阵能公式反映的原理归纳出几条关于晶体结构的经验规则。......
本文系统地考察了晶体的组成(组分数β=2,β=3,β≥4)与配位数之间的关系.提出了配位平衡方程和电子平衡方程。分析了A_xB_y、A_xB......
提出了静电键合中渐近加压的思想,并研制成功了用单片机控制、以脉宽调制(PWM)技术为基础的渐近加压的斜坡高压电源。实践证明,使用该电源......
分析了硅-玻璃静电键合界面受热循环作用,或者受反向电压作用后,在高温时,键合力的特点,实验验证了高温(450℃)时键合面牢固、稳定。研究结果......
介绍了硅-玻璃静电键合的基本原理,阐述了在自建静电键合设备上实现静电键合的过程。结合其在微机械传感器中的应用,讨论了粗糙表面的......
设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器,并采用硅-玻璃静电键合、ICP工艺释放等技术完成了二维加......