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针对小型化惯性测量单元对加速度计的集成需求,设计制作了一款全硅梳齿电容式MEMS加速度计。该加速度计采用"日"字型结构方案,检测......
随着无线通信网络及便携式产品的迅速发展,CSP(Chip SizePackage,Chip Scale Package)的广泛应用极大地改变了半导体组件技术,圆片......
本文主要论述了有集成化无源器件的多层薄膜晶圆片级封装技术。该技术有助于使高频率应用的高Q器件集成化。......
本文对有发展前途的三维(3D)技术平台进行简要回顾,说明采用校准型晶圆片压焊技术的晶圆片级三维(3D)集成。重点强调了胶粘剂晶圆片压焊......
针对现有的圆片级真空封装存在检测难、易泄漏等问题,提出了内置皮拉尼计的硅通孔圆片级MEMS真空封装方法。研制了用于圆片级真空......
无损筛选是当前研究常规电路与加固电路具有抗辐能力的有效方法,而无损筛选通常是指对电路最终产品进行的一种筛选。本文将以L54HC0......
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期刊
提出一种适用于微机电系统(MEMS)圆片级真空封装的键合结构,通过比较分析各种键合工艺的优缺点后,选择符合本试验要求的金硅键合工......
划片工艺概述 划片工艺隶属于晶圆加工的封装部分,它不仅仅是芯片封装的核心关键工序之一,而且是从圆片级的加工(即加工工艺针对整片......
RF MEMS开关是RF MEMS器件中最有发展潜力的器件之一,但开关的可靠性和封装等问题阻碍了开关的发展。本文针对RF MEMS开关封装所带......