离子束加工相关论文
随着以柔性能源、柔性显示、柔性传感为代表的柔性电子产业迅猛发展,其中核心部件之一柔性透明导电薄膜的高质量制造成为一个关键......
为了实现光学元件的高精度加工,对离子束加工过程中关键的驻留时间求解算法进行了研究。通过分析离子束加工过程的基本原理,将传统......
据苏《自然》84年7号报道:虽然对离子束焊接的物理和技术特性不久前才开始加紧研究,但初步的成果已经表明,用这种方法能在焊接过......
针对超精细加工的技术要求,叙述了离子加工应用技术的发展概况、各型号离子束刻蚀机的性能及使用效果,阐述了离子镀膜的基本原理与......
离子束加工技术是目前所有特种加工方法中最精密和最微细的工艺,是当代毫微米级加工技术的基础,近几年来国外在离子刻蚀、离子注......
193nm深紫外光刻机和下一代的13.5nm极紫外光刻机是我国半导体行业和超大规模集成电路战略的核心装备，光刻投影物镜是其中尤为关键......
利用束流修正理论和蒙特卡罗模拟法对离子束加工中某一工艺参数下工件吸收的功率进行理论建模,然后采用测温实验对理论模型进行验......
随着光学和微电子学及其相关技术的发展，对所需材料的表面质量的要求越来越高。超光滑表面的加工方法有抛光和超精密机械加工等。超......
针对空间光学遥感器反射镜离子束加工过程中,离子束瞬态大热流密度造成加工过程镜体温度急剧上升引起的热应力问题,利用UG8.5软件f......
熔石英元件光学性能优良,广泛的应用于强光光学系统中。在强激光辐照下,熔石英光学元件的激光诱导损伤严重限制强光光学系统的发展......
驻留时间求解问题是离子束加工中的关键问题．通常，离子束加工过程可以描述为一个包含驻留时间的二维卷积方程，理论上通过反卷积即可以......
相对于传统光学手工加工,确定性光学加工大幅提高了光学加工的精度和效率。但在确定性加工中,被加工表面除了低频的面形误差外,往......
193nm深紫外光刻机和下一代的13.5nm极紫外光刻机是我国半导体行业和超大规模集成电路战略的核心装备,光刻投影物镜是其中尤为关键......
提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义，分析了驻留函数解的存在条件，进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时......
随着武器装备(民用设备)性能要求的不断增长,空间详查卫星、天文望远镜和激光核聚变等装备(设备)的光学系统对大型光学元件的需求......
离子束加工是一种原子级尺寸的加工技术。离子刻蚀、离子注入、离子镀和离子溅射沉积等离子束加工工艺已在航空工业中获得大量应用......
如果能把一台望远镜放在人造卫星上发射到太空,就可能使人类的"千里眼"梦想变为现实,而大口径光学镜片的制造是其中的关键技术。本......
离子束抛光(又称离子束腐蚀加工或离子束铣削加工)是六十年代末正式研制成功的精密加工新技术。七十年代以来,美国国防部门和民用......
<正>2015电子束离子束专业委员会学术研讨会于2015年8月28-30日在北京召开。会议由中国电工技术学会电子束离子束专业委员会主办,......
研究了离子束加工系统的后置算法和误差补偿等问题。基于DH矩阵法,建立了系统的运动学方程,分析了工艺中离子源和工件的安装误差以......
高精度光学系统的发展对光学元件面形的精度提出了越来越高的要求。目前,广泛应用的光学元件的接触加工方式,由于磨头磨损,边缘效......
学位
光学系统性能要求随着科技的发展不断提高,观测系统、激光系统、光刻投影系统等技术的发展,对光学零件的需求激增,且技术要求较传......
离子束加工中从离子源射出的高速离子撞击光学反射镜表面,离子的动能转化成热能以及中和灯丝的热辐射作用,使反射镜温度急剧升高。......
研究了聚焦离子光学系统设计的基本原理和方法,并在自研的离子光学系统上通过实验验证了设计的可行性。在一块直径为100mm的微晶玻......
为了实现光学非球面元件的高精度加工,对先进的离子束加工系统进行了研究。通过对离子束加工系统的分析,给出了加工非球面光学元件......
离子束加工(Ion Beam Figuring,IBF)去除函数对加工残差具有重要的影响,而加工残差引起的表面散射则导致光学性能发生变化。为了减......
针对大口径离轴非球面系统加工与装调的难点,提出了非球面光学系统共基准加工与检测的方法,对该方法的基本原理和实现过程进行了分......
<正>1.聚焦离子束简介聚焦离子束(focused ion beam,FIB)与聚焦电子束从本质上讲是一样的,都是带电粒子经过电磁场聚焦形成细束。......
用线扫描方法研究某种型号的3cm卡夫曼离子源的稳定性,先介绍了线扫描法估计去除函数的方法以及其数学模型,用线扫描法扫描两块微......
