等离子增强相关论文
采用等离子增强型化学汽相沉积和电子束刻蚀相结合方法制备了直径为1~20μm的GaInAsP/InP跑道型环形谐振腔,采用扫面电镜等方法对......
使用等离子增强化学气相沉积(PECVD)在304不锈钢基体表面制备含硅和不含硅类金刚石(DLC)涂层.采用拉曼光谱研究了薄膜的热稳定性,......
采用电子回旋共振等离子增强化学气相沉积(ECR-PECVD)方法，以SiH4和H2为气源，在普通玻璃衬底上沉积多晶硅薄膜。利用XRD、Raman光谱......
利用等离子增强化学气相沉积技术在单晶硅基底上制备了类金刚石薄膜(DLC).采用Raman光谱和原子力显微镜等研究了碳膜的微观结构和......
本报告主要介绍利用等离子体共振(SPR)的技术，结合增强荧光、磁性纳米颗粒和等电聚焦等方法，实现高灵敏的生物传感器。例如在金......
小分子刚果红和三聚氰胺与硝酸银在水溶液中通过分子间不对称配位作用形成螺旋纳米复合物。上述纳米复合物可通过光还原原位构......
通过热蒸发和后期热处理制备了具有表面等离子体效应的银纳米薄膜，并对其光学性质，表面形貌和结晶性质进行了研究。采用阳离子置......
近年来,随着光通信系统、光计算和光网络的飞速发展,人们对光电子器件的性能要求越来越高。基于新型微纳结构的光子集成器件已经成......
采用等离子增强化学气相沉积系统(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)沉积氢化非晶硅(HydrogenatedAmorphousSilicon)，通过正......
氮化硼(BN)是一种十分重要的Ⅲ-Ⅴ族化合物，具有一系列优异的物理化学性能，比如宽带隙、热稳定性、高热导率、高介电常数、化学稳定......
作为绿色能源,太阳能电池在能源危机和环境危机的今天,突显其研究和应用价值。多晶硅薄膜集晶体硅和非晶硅材料优点于一身,克服了......
癌症是一类严重影响人类生命健康的重大疾病。化疗作为当前应用最广泛的癌症临床治疗手段之一，存在毒副作用大等问题。纳米材料......
石墨烯是纳米材料科学和凝聚态物理的新起之秀，它仅由一个原子层的碳原子组成，是严格意义上的二维材料。尽管距离其发现才十年之久，但......
本硕士论文提出了一种基于ZnO纳米阵列的n-ZnO/p-Si异质结太阳能电池,其结构为:FTO或AZO透明导电玻璃/ZnO籽晶层/ZnO纳米阵列/硅薄......
SiO2 电影追随者离子培植被调查的通过提高血浆的化学蒸汽免职(PECVD ) 认识到的 QWI (很好使混合的量) 的一个方法。在 160 keV ......
材料的摩擦，磨损，腐蚀，疲劳及其组合等问题的研究和卓有成效的解决途径成为当前表面工程领域研究的热点。本文主要介绍物理气相沉积和......
设在德州奥斯汀的TEL美国总部日前推出用于先进薄膜淀积的IRad，一种300mm等离子增强批处理热化学汽相淀积（CVD）系统。IRad系统是基于......
本文以四氯化钛（ＴｉＣｌ４）和硅烷（ＳｉＨ４）为源物质，采用等离子增强化学气相淀积（ＰＥＣＶＤ）工艺结合常规热退火制备了优良的ＴｉＳｉ２薄膜。研究了淀积和退火条件对薄膜性质......
<正>Cobalt（Co） thermal or plasma enhanced atomic layer deposition（PE-ALD） was investigated using a novel metal organic precu......
在等离子激发条件下，进行了ＳｉＯ２和ＳｉＯ介质薄膜生长实验，研究了沉积数射频功率、反应压力、反应气体流量比及总、反应温度对沉积薄膜的生长速......
一、前言 随着硅片尺寸的增大和器件集成度的提高，高质量的绝缘膜对提高器件的成品率有很大的影响。利用等离子增强化学法气相淀积......
本论文针对目前薄膜太阳电池发展中存在的若干问题进行了研究,涉及铜铟镓硒、铜锌锡硫硒薄膜太阳电池和上转换材料在薄膜太阳电池......
紫外光探测器在军事和民用方面有非常广阔的应用前景。目前对于紫外光探测器的研究主要集中在金刚石、SiC、GaN、Ga2O3等宽带隙半......
