微机电系统(MEMs)相关论文
设计了一种微机电系统(MEMS)平面微起爆器并对其性能进行了研究.该微起爆器由MEMS微结构换能元和直写起爆装药两部分组成.金属微结......
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以北京市智能传感器产业发展现状为基础,梳理产业政策及相关企业,重点分析发展智能传感器产业的优势及存在的问题,并从顶层设计、......
以梳状硅基微陀螺为典型实例,按照MEMS器件集成设计的"Top-down"思想,研究了硅微陀螺的实体建模、有限元分析、相关数据库的建立......
针对水听器的频响曲线会在透声帽谐振频率处出现共振峰, 使水听器频响曲线失真, 工作频带变窄等问题。本文考虑水听器的工作环境, ......
为了提高微机电系统(MEMS)器件的抗冲击能力,提出了一种蜂窝形MEMS止挡结构。设计了由两层不同孔径的蜂窝孔构成的蜂窝形MEMS止挡......
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水电站监控系统并不只具有传统意义上的监控功能,它还兼具有在线远程监测电力设备等各项参数的重要功能,因此对监控系统的可靠性有......
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本文主要考虑以下初边值问题其中,f(x)描述了一类理想化的静电微机电系统(MEMS)模型中的弹性薄膜的介电常数剖面,λ>0与施加在系统......
提出了一种新的金刚石半球微陀螺结构,应用Comsol有限元分析软件建立了该振动结构的有限元模型,分别进行了模态分析、谐响应分析仿......
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针对高精度低温温度测量需求,提出一种基于氮氧化锆薄膜的微机电系统(MEMS)低温温度传感器.通过微加工工艺,将传感器制备与封装相......
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研制了一种基于多孔纳米氧化锡(SnO2)催化剂的微催化燃烧式气体传感芯片(Pellistor).基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Sy......
本文研究了一种微驱动器及继电器,其设计原理采用基于机械操纵触点导通的机电方式,制作采用MEMS微细加工工艺,单个器件的整体尺寸......
针对ICP刻蚀工艺进行了深入研究,探讨了气体流量、射频功率和工作室气压设定值等工艺参数对刻蚀效果的影响,最终在硅基底上获得了......
根据矩阵结构分析理论和弹性力学理论建立了一种宽度随长度线性变化的变截面线性梁力学模型,采用硬件描述语言实现了其参数化系统......
低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置,其设计目的包括减小体积、提高抗振性和产品间闭合阈值一......
对封闭O型MEMS平面微弹簧建立力学分析模型,用卡氏第二定律和胡克定律推导出这种平面微弹簧弹性系数的计算公式,并用ANSYS进行有限......
低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置.为了解决开关芯片在清洗干燥过程中的粘连问题,提高器件......
设计并研制了一种6～11GHz、超宽带5位RF MEMS开关延迟线移相器,器件实现了5位延迟:λ、2λ、4λ、8λ、16λ。该器件采用微带混合介......
微惯性测量单元(MIMU)的标定技术是低精度惯性导航领域中的重要研究方向,传统标定方法操作复杂,标定精度严重依赖转台精度.为解决......
针对微型飞行器体积小、质量轻、能量和带载荷能力有限的特点,设计了微型空速计,包括微小型皮托管和基于微机电系统(MEMS)微差压传......
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为了对微机电系统(MEMS)的机械动态性能进行测试,结合自动调焦、机器显微视觉和频闪照明成像等多项技术,设计了基于自动调焦显微视......
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基于MEMS光开关设计了星型环型混合拓扑的光互连网络,为其开发了具有硬件路由功能的光互连网络控制卡(ONIC),以LAN为控制网络实现......
微型飞行器(MAV)是集航空设计、航空制造、微机械、电子、高性能数字计算机于一体的多学科交叉的综合系统。本文简述了目前国内外......
文章简要介绍微机电系统(MEMS)的发展现状及应用,并根据发展和应用现状分析MEMS发展的瓶颈和面临的问题.在此基础上,阐述MEMS的发......
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静电驱动的微机械装置是许多微机电系统(MEMS)中的重要模块。根据微光机电系统(MOEMS)可编程相位光栅的设计思想,提出一种静电驱动......
首先介绍了昆虫微机电混合系统领域的研究背景与研究动态,概述了昆虫微机电混合系统的原理及主要优势,分析了昆虫微机电混合系统的......
研究了一种基于碳纳米管尖端的直流介质阻挡放电(DBD)微结构,使用MEMS加工工艺制作出深宽比0.5的侧壁相对的叉指状金属电极,在电极......
在微机电系统(MEMS)中,影响多晶体微梁构件疲劳损伤的因素很多,如载荷方式、晶粒尺寸及其内部空间滑移系等。重点是从多晶铜微梁构......
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安装误差和温度是MEMS微惯性组合的主要误差源,这两种因素所引起的误差通常占系统总误差的90%以上。通过对微惯性组合的安装误差及......
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姿态信息是飞行控制中最关键的参数之一,因此姿态测量成为飞行控制系统首要解决的问题。利用多M EM S传感器研制了一种微型姿态测......
采用与MEMS兼容的工艺,自上而下制作了分级多孔纳米结构的氧化铝/金多层薄膜(HNAGF)电极。利用扫描电子显微镜(SEM)、能量散射谱(E......
高能密度和微型化已经成为动力设备发展的必然趋势,然而,润滑技术的发展直接制约着高速透平的极限转速。微机电系统(MEMS)中的高速......
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对基于连续型、时变型及与其他力场联用的三类介电电泳颗粒分离技术进行了综述。分析表明,连续型介电电泳的分离效果较好,但形式较......
提出了应用于微型飞行器中的新型无线数据传输系统。与传统的无线数据通信系统相比,其质量低、体积小、功耗低,可应用多种场合,抗......
介绍了一种平面线圈型电磁驱动的MEMS微驱动器，基于分段磁路的网络方程法，针对微电磁驱动器所采用的平面线圈的结构特点，比较了考虑磁......
在过去的十几年里,随着微机械加工技术的惊人发展,微机电系统(MEMS)与光学技术的结合应用成为可能,这种结合体被称为微光机电系统(......
光学相干层析技术（OCT）是一种迅速发展的非侵入式，高分辨力，实时，在体医学层析成像技术。为了使OCT系统更加紧凑，便于应用，作为OCT系统关......
利用电泳沉积的方法在MEMS结构特定位置上组装碳纳米管薄膜，以此作为发射体研制基于碳纳米管场发射的传感器，并对其场发射进行了测试......
为了研究静电致动圆板静态和动态特性，在模态分析法的基础上，利用多维非线性函数的Levenberg-Marquardt拟合方法，将板的动能、弹性能......
针对工业和民用领域对姿态测量的需求,提出了基于MEMS加速度计、陀螺仪和磁强计的姿态测量系统,并采用无先导卡尔曼滤波(Unscented......
研究4种不同气氛下制备的可应用于MEMS方面的超纳米金刚石薄膜的显微力学特征。利用纳米压痕技术得到样品的加载-卸载曲线及硬度和......
研究了曝光剂量对于小孔成型孔径的影响。实验中发现由于SU-8为负性光刻胶,曝光聚焦条件控制不佳会导致倾角较大的倒梯形结构,不利......
碱金属原子气室是陀螺仪、磁力计和原子钟等原子传感器的核心部件。利用微机电系统(MEMS)技术实现微型化,是当今原子气室的重要发......
基于M-B分形磨损模型,建立微机电系统(MEMS)表面磨损率与分形维数之间的关系,对MEMS表面的磨损规律与表面特性进行相关分析。结果......
过去几年中,微机电系统(MEMS)一直被认为是光传输系统MEMS技术的波长选择性交换结构及其交换原理,分析其可靠性并讨论在全光网中的......
温度误差是MEMS（Micro Electronic Mechanical System）陀螺仪的主要误差源之一，为了消除温度对内框架驱动式硅MEMS陀螺仪性能的影响，提......
利用MEMS工艺制作了一种双层悬空结构的圆形片状微电感,并研究了其在S波段的性能.双层微电感的底层线圈制作在玻璃衬底平面上,外径......
针对微尺度条件下利用离心力矩返回的非自由式擒纵装置缺乏理论计算依据，提出了“类刚度系数”的概念，并据此使用传统非自由式擒纵装......
设计了内部不含温度传感元件、加热元件的低成本微反应槽聚合酶链式反应（PCR）芯片．研制了宏观集中控制与微观分散控制有机结合的双重......
为提高微机电系统（MEMS）万向惯性开关的性能,实现工程化应用,对其进行工艺误差与性能关系研究.基于多层UV-LIGA工艺制作多个开关样机......
针对13.56MHz RFID系统大面积平面螺旋线圈天线存在的缺陷,提出了一种用于13.56MHz频段的新型RF-MEMS微天线,并使用HFSS软件进行了......
