MEMS相关论文
为解决应用于液体电介质局部放电超声信号检测的非本征光纤法-珀传感器（Extrinsic Fiber Fabry-Perot Interferometor， EFPI）检测灵敏......
真空封装是维持器件长期处于特定真空环境的技术,当内部真空超出有效真空范围时,便无法确保器件的正常工作。为预测封装寿命,需要......
半导体作为战略性行业,得到世界各国的政策和资金支持。作为加速产业发展的手段之一,中国近年来也积极加入全球半导体并购的浪潮。......
基于模式匹配分析,采用切比雪夫函数逼近,设计了一款W波段H面膜片波导带通滤波器。将滤波器输出级联谐振腔,增加可调零点改善了滤......
基于微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）技术实现分析仪器的微小型化是目前MEMS领域的重要研究内容之一。气相色谱......
卫星定位系统已被广泛应用于车辆、航空航天、船舶等领域,但单模系统在定位精度、稳定性方面已经不能满足人们对高精度、高可靠性......
微机电惯性测量单元（MEMS-IMU）具有尺寸小、重量轻、成本低、可靠性高等优点，在机器人、虚拟现实以及智能穿戴等诸多领域广泛应用。低......
MEMS矢量水听器具有体积小、成本低、低频特性好等优势，在进行水下目标探测时，能同时拾取水下声场的声压及振速信息，单支水听器就可以......
为解决硅压阻式压力芯片灵敏度随着温度变化发生漂移的问题，设计了一种在片上集成温度补偿结构的压力芯片。在压力芯片上制备电阻温......
心血管疾病被称为人类健康的“头号杀手”,而心音作为一种人体体内重要的生理信号,包含着大量与心脏有关的生理与病理信息,是心血......
麦克风是一种可收集自然界声音信号的声传感器件,在军事、航空航天、医疗、消费电子、汽车电子等领域都有重要的应用价值,因此对麦......
MEMS时钟方案欲取代传统石英产品。SiTime推出了基于MEMS的Elite Platform,可满足高精度时钟元件的环境需求。它包含Super-TCXO（温......
全球导航卫星系统（GNSS,Global Navigation Satelite Sysyem）可以提供全球、实时和持续的定位服务,包括米级标准定位服务到厘米级精......
针对传统MEMS/GNSS组合导航在卫星信号差时长时间精准导航问题，提出了基于灰色马尔可夫预测的MEMS/GNSS组合导航方法。通过改进灰色......
微机电系统（MEMS,Micro-Electro-Mechanical System）是一种在半导体制造技术的基础上发展起来的先进的制造技术,可以在几毫米甚至更......
梳齿电容式加速度传感器具有测量精度高、灵敏度高、温度漂移小等优点,在智能汽车、地震监控、地质勘探等领域得到广泛应用。然而......
MEMS仿生矢量水听器因具有体积小、低频响应好、可批量制作等优点,使其在声呐浮标、UUV等小型作战平台中得到了广泛的应用。然而,......
依托半导体生产线开发了基于MEMS微桥结构的微测辐射热计（Micro-Bolometer）器件，其中：使用化学气相沉积（CVD）技术开发了非晶硅（α-Si）薄膜......
概述了GNSS RTK定位对中杆操作的有关问题，分析了倾斜补偿技术原理及其在实际定位中起到的作用，利用具备IMU对中杆倾斜补偿功能的徕......
微机电系统（MEMS）是基于集成电路和微机械加工技术发展起来的机械系统，本文阐述了国内外微机电系统发展的情况，论述了微机电系统制造技......
为实现高真空测量仪表的小型化,研制了一种双质量块结构的MEMS谐振式真空计。真空计物理部分与专用ASIC电路集成,采用交流电压驱动......
谐振频率范围内的声波对微机电系统传感器的共振干扰是一种潜在的安全威胁,可导致MEMS加速度计信号路径中放大器失效。文章提出了......
在国防现代化战争中,对各类火箭弹有效射程与飞行姿态的控制提出了更高的要求,增程发动机及尾翼的出现有效地解决了这一难题,然而......
MEMS压力传感器作为工业控制中各种环境下压力监测与控制的核心,因其拥有体积小、成本低和性能优异等特点在航空航天、武器装备和......
采用先进微机电系统MEMS（Micro Electromechanical System）惯导技术、ARM（Advanced RISC Machine）处理器嵌入式技术、WiFi无线传输技术......
随着物联网在半导体中的日益普及,MEMS器件的市场份额与日俱增。但是,其同时存在诸多问题需要解决。在加工过程中,由于尺寸微小和......
滤波器作为微波无源器件中最重要也是应用最多的器件,承担着通信系统频率选择的重任,随着电路设备小型化的发展趋势,人们对滤波器......
微机电系统（Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS）在航天、医学、信息、精密制造业和国防领域均具有广泛的应用。其中,电磁型微驱......
制造业是社会经济的主体,在中国制造2025的背景下,制造业对加工工艺和加工精度提出了更高的要求。微机电系统具有微型化、智能化、......
行星微震仪可用于资源勘探、行星震动监测、研究星球内部地质构造等方面。这些应用对行星微震仪的环境适应性提出较高的要求,在火......
微型质谱仪因其便携性和高效性近年来受到各国相关研究者的广泛关注。作为关键部件的等离子体源的微小化研究也受到很大重视,并有......
低温直接键合不同于传统的阳极键合、中介层键合和高温键合,无需外加电场、键合中介层和退火高温的引入,键合界面主要依靠表面活化......
气象监测指导着工农业生产、交通运输、国防等各行各业,与我们每个人都息息相关。风速风向是气象监测中必不可少的关键信息,风速风......
面向大众的行人导航因为定位环境复杂,同时又要求使用低成本、易携带的设备,因此要实现高精度的连续导航定位还存在诸多技术上的难......
相比传统的驻极体麦克风,微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）麦克风拥有体积小、耐热性好、一致性好、稳定性好、可......
加速度计是与MEMS技术结合最为成熟、分类最广泛的传感器之一,MEMS加速度计主要有电容式、压阻式、压电式、隧道电流式、谐振式、......
风速风向传感器在气象预报、航海工程、农业生产、工业控制等众多领域都发挥着重要作用。与传统的风速计相比,MEMS热式风速风向传......
介绍了MEMS传感器在生命体征监测器械、心血管疾病治疗器械及其他医疗器械中的应用,阐述了MEMS技术在医疗器械领域中应用的发展趋......
由于在电场作用下产生的电致伸缩应变效应,反铁电薄膜具有应变程度大,响应时间短,驱动力大等优点,可以明显提升MEMS驱动器的性能。......
随着微机电系统技术的飞速发展,越来越多的微型电子器件在生活中的多个领域得到广泛应用。很多无线传感器设备都需要持续不断的工......
将调频连续波（FMCW）激光测距技术与MEMS微镜扫描成像技术相结合，设计了一种新型激光雷达系统。引入平衡相干探测技术和基于辅助干涉光......
针对射频MEMS滤波器的带外抑制能力较差和带内群延时不平坦的问题,设计了一种窄带宽、低插损、高选择性的L波段射频MEMS线性相位滤......
质谱仪是一种分析仪器,广泛应用于航空航天、生物医疗、突发事件、食品安全等领域。随着我国深空探测计划的深入发展,小型质谱仪在......
流体壁面剪应力（Wall shear stress）又被称为摩阻应力,是流体力学的基本参量之一。它的有效测量是精确掌握摩擦阻力的基础,也是判断......
设计了一种交错梳齿型(SVC)静电驱动MEMS微镜,首先在底层硅片上通过刻蚀预留出微镜活动空间,并进行固定梳齿组刻蚀,然后再在上面键......
